[发明专利]含三嗪环的聚合物、树脂组合物、固化膜及固体摄像元件

说明书

本发明的目的在于提供即使不添加金属氧化物也能单独利用聚合物达成高耐热性、高折射率并且对热、湿度的长期稳定性优异的含三嗪环的聚合物以及包含该聚合物的膜形成用组合物。本发明为含三嗪环的聚合物，其特征在于，包含下述式(1)所示的重复单元结构。

技术领域

本发明涉及包含含三嗪环的聚合物的树脂组合物、该树脂组合物的固化膜及该固化膜的制造方法、以及具备该固化膜的基板及固体摄像元件。

背景技术

近年来，伴随数码相机、带相机的手机等的迅速发展，要求固体摄像元件的小型化、高像素化。固体摄像元件的小型化会招致灵敏度下降，因此，进行了通过提高聚光效率来防止灵敏度下降的研究。具体而言，采用在滤色器上部配置聚光用微透镜的方法。

作为微透镜的一般的制作方法，通常为利用干式蚀刻对树脂膜进行加工的方法。作为前述树脂膜的材质，大多使用聚苯乙烯、丙烯酸等有机材料，其折射率为1.5～1.6，为了进一步提高聚光性能，要求透镜的高折射率化。

为了透镜材料的高折射率化，进行了各种使高分子化合物高折射率化的尝试，对引入金属氧化物粒子、芳香族、卤素原子、杂原子进行了研究。例如已知将硅氧烷聚合物与氧化钛、氧化锆等金属氧化物粒子混合的方法是用于提高折射率的最有力的方法(专利文献1)。

另一方面，有可能因导入金属氧化物而损害固化膜的柔软性、耐裂纹性，还已知即使不导入金属氧化物也能实现高折射率的三嗪环聚合物(专利文献2)。这样的聚合物不含金属氧化物，单独利用聚合物就能呈现出高折射率。因此，即使在经过蚀刻、灰化等干式工艺的情况下，蚀刻速率也固定，能够得到均匀膜厚的被膜，制作器件时的工艺裕度扩大。

虽然具有这样的优点，但是三嗪环聚合物缺乏耐热性，在微透镜的形成工序、后续的工序中观察到由着色所致的透射率下降，因此难以在不混合抗氧化剂等稳定剂的情况下使用。专利文献3中记载的三嗪环聚合物通过引入耐热性高的芳香环，从而提高聚合物的耐热性。

然而，就如专利文献3那样的三嗪环聚合物而言，在对固体摄像元件、有机电致发光(EL)显示器等电子器件等所要求的高温高湿的耐久性试验中，存在透射率下降的课题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-246877号公报

专利文献2：日本特开2009-1658号公报

专利文献3：日本特开2012-92261号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明是鉴于这样的情况而完成的发明，其目的在于提供在高温高湿下的耐久性试验中透射率的下降少的含三嗪环的聚合物以及包含该聚合物的树脂组合物。

用于解决课题的手段

含三嗪环的聚合物及包含该聚合物的树脂组合物，含三嗪环的聚合物的特征在于，包含下述式(1)所示的重复单元结构。

[化学式1]