[发明专利]在抗蚀剂应用中作为光酸产生剂的环状磺酸盐化合物

权利要求书

1.一种磺酸衍生物化合物，其中所述化合物由式(I)

表示、或者所述化合物选自由以下组成的组：

其中X是H或–OH；且

Y是式A的阳离子：

其中

R₁、R₂和R₃各自独立地选自由乙烯基、烯丙基、任选取代的(C₁-C₂₀)烷基和任选取代的(C₆-C₁₅)芳烷基组成的组，其中R₁和R₂可与它们所连接的硫连结在一起形成环；且

n是1至10的整数。

2.如权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中R¹、R²和R³各自独立地为任选取代的(C₆-C₁₅)芳烷基；且X是H。

3.如权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中R¹、R²和R³各自独立地为任选取代的(C₆-C₁₅)芳烷基；且X是-OH。

4.如权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中R¹和R²与它们所连接的硫连结在一起形成环；R³是任选取代的(C₆-C₁₅)芳烷基；且X是H。

5.如权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中R¹和R²与它们所连接的硫连结在一起形成环；R³是任选取代的(C₆-C₁₅)芳烷基；且X是-OH。

6.如权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中R¹和R²各自独立地为任选取代的(C₆-C₁₅)芳烷基；且X是H。

7.如权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中R¹和R²各自独立地为任选取代的(C₆-C₁₅)芳烷基；且X是-OH。

8.一种组合物，其包含：

(i)至少一种光酸产生剂化合物，所述化合物由式(I)

表示、或选自由以下组成的组：

其中X是H或–OH；且Y是式A的阳离子：

其中

R₁、R₂和R₃各自独立地选自由乙烯基、烯丙基、任选取代的(C₁-C₂₀)烷基和任选取代的(C₆-C₁₅)芳烷基组成的组，其中R₁和R₂可与它们所连接的硫连结在一起形成环；且

n是1至10的整数；

(ii)至少一种光致抗蚀剂聚合物或共聚物；

(iii)有机溶剂；和任选地，

(iv)添加剂。

9.如权利要求8所述的组合物，其中R¹、R²和R³各自独立地为任选取代的(C₆-C₁₅)芳烷基；且X是H。

10.如权利要求8所述的组合物，其中R¹、R²和R³各自独立地为任选取代的(C₆-C₁₅)芳烷基；且X是-OH。