[发明专利]视觉检查模块、其元件检查系统及其元件检查方法在审
申请号: | 201980017704.0 | 申请日: | 2019-03-07 |
公开(公告)号: | CN111819435A | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 柳弘俊;白京奂;裵秀珉;张成厦 | 申请(专利权)人: | 宰体有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/13;G06T7/00;H01L21/66 |
代理公司: | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人: | 郑青松 |
地址: | 韩国忠清南道天安市*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 视觉 检查 模块 元件 系统 及其 方法 | ||
1.一种视觉检查模块(100),作为执行平面形状为直角四边形的元件(1)的视觉检查的视觉检查模块(100),其特征在于,包括:
图像获取部(110),用于获取元件(1)的图像;
光路形成部(120),选择性形成第一光路(L1)和一对第二光路(L2),所述第一光路(L1)为使元件(1)的第一平面的第一平面图像到达所述图像获取部(110),所述一对第二光路(L2)为使所述元件(1)的相对的一对侧面的一对侧面图像到达所述图像获取部(110);
其中,所述光路形成部(120)包括:固定框架部(126),被固定设置,并且具有一对第一反射部件(122),所述一对第一反射部件(122)与元件(1)的相对的一对侧面对应,将一对侧面图像以与所述第一平面的法线方向平行地反射;移动框架部(128),针对所述固定框架部(126)可移动地设置,根据位置选择性形成所述第一光路(L1)及所述一对第二光路(L2)。
2.根据权利要求1所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述移动框架部(128)在“形成所述第一光路(L1)的第一位置”和“形成所述一对第二光路(L2)的第二位置”之间可移动地结合于所述固定框架部(126)。
3.根据权利要求2所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述第二位置设定在所述移动框架部(128)遮挡所述第一平面图像的位置,以防止所述第一平面图像到达所述图像获取部(110)。
4.根据权利要求3所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述移动框架部(128)包括多个第二反射部件(124),所述多个第二反射部件(124)向所述图像获取部(110)反射从所述一对第一反射部件(122)反射的一对侧面图像,以在所述第二位置使所述一对侧面图像到达所述图像获取部(110)的受光面(S)的中心部附近。
5.根据权利要求3所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述第一位置设定在所述移动框架部(128)不与所述第一平面图像及所述一对侧面图像发生干涉的位置。
6.根据权利要求1所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述移动框架部(128)以与所述法线方向垂直的平面方向可进行线性移动地结合于所述固定框架部(126);
所述光路形成部(120)还包括引导部(129),所述引导部(129)引导所述移动框架部(128)针对所述固定框架部(126)以平面方向进行线性移动。
7.根据权利要求1所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述固定框架部(126)配置有多个所述一对第一反射部件(122),以针对多个元件(1)执行视觉检查。
8.根据权利要求1所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述视觉检查模块(100)还包括焦点调整部(130),所述焦点调整部(130)调整所述图像获取部(110)的位置以调整焦点。
9.根据权利要求1所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述视觉检查模块(100)还包括主反射部件(140),所述主反射部件(140)设置在所述光路形成部(120)及所述图像获取部(110)之间,以朝向所述图像获取部(110)反射所述第一平面图像及所述一对侧面图像。
10.根据权利要求6所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述主反射部件(140)由可透光的半透材料构成;
所述视觉检查模块(100)还包括照明部(150),所述照明部(150)从所述主反射部件(140)的反射面的另一面将光照射于所述元件(1)的第一平面及各个侧面。
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