[发明专利]制造触敏面板的方法

权利要求书

1.制造用于触敏面板的透明导电膜的方法，所述方法包括：

提供分层结构，所述分层结构包括多个均质层，所述多个均质层至少包括第一透明导电层、第二透明导电层以及在所述第一透明导电层与所述第二透明导电层之间的透明支撑基板，所述透明支撑基板是所述分层结构的最厚层；

通过从所述透明支撑基板的设置有第一透明层的一侧入射在所述第一透明层上的激光束对所述第一透明层进行激光烧蚀，来在所述第一透明导电层中形成电极图案；其中

所述激光束和所述透明支撑基板被配置成使得由所述透明支撑基板将激光束能量密度减小50％以上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述激光束和所述透明支撑基板被配置成使得由所述透明支撑基板将激光束能量密度减小75％以上。

3.根据权利要求1或2所述的方法，所述方法进一步包括：

通过从所述透明支撑基板的设置有第二透明层的一侧入射在所述第二透明层上的激光束对所述第二透明层进行激光烧蚀，来在所述第二透明导电层中形成电极图案。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，在所述第一透明导电层中形成所述电极图案的步骤和在所述第二透明导电层中形成所述电极图案的步骤同时进行。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述激光束的波长是紫外线的。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述激光束的波长为300nm至400nm。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述激光束的波长为355nm。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，所述透明支撑基板包括CPI、PEI和PEEK中的一个。

9.根据权利要求4所述的方法，其中，所述激光束的波长为200nm至300nm。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述激光束的波长为266nm。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其中，所述透明支撑基板包括PET和PC中的一个。

12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述激光束由二极管泵浦固体激光器产生。

13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述激光束在所述基板的表面处的能量密度为0.5Jcm^-2至1Jcm^-2。

14.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述透明支撑基板的厚度为0.01mm至0.15mm。

15.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一透明导电层和/或所述第二透明导电层由ITO形成。

16.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一透明导电层和/或所述第二透明导电层由纳米线、碳纳米管或碳纳米芽形成。

17.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一透明导电层和/或所述第二透明导电层的烧蚀阈值为0.5Jcm^-2至1Jcm^-2。

18.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一透明导电层和/或所述第二透明导电层直接附接到所述透明支撑基板。

19.根据权利要求1至18中任一项所述的方法，其中，所述第一透明导电层和/或所述第二透明导电层通过透明粘合层附接到所述透明支撑基板。