[发明专利]用于频率产生器的共同激励的方法与设备

权利要求书

1.一种将射频(RF)功率供应至处理腔室的方法，所述方法包含：

在第一RF产生器中产生参考频率；以及

在所述第一RF产生器的第一RF功率输出的第一输出频率不同于所述参考频率时，将所述第一RF产生器的所述第一RF功率输出与所述参考频率去耦。

2.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包含：

在所述第一输出频率与所述参考频率同步时，使用第一时钟匀变将所述第一输出频率与所述参考频率调整至新参考频率。

3.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包含：

在所述第一输出频率与所述参考频率去耦时，使用第二时钟匀变将所述第一输出频率调整至所述参考频率以将所述第一输出频率耦合至所述参考频率；以及

在所述第一输出频率与所述参考频率同步时，将所述第一输出频率耦合至所述参考频率。

4.如权利要求3所述的方法，所述方法进一步包含：

在所述参考频率随着时间改变时，使用多个第二时钟匀变将所述第一输出频率调整至所述参考频率。

5.如权利要求4所述的方法，所述方法进一步包含：

在更新时间段期间，基于在所述更新时间段的一时间处的所述参考频率，改变至所述多个第二时钟匀变中的另一个。

6.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包含：

由第二RF产生器接收来自所述第一RF产生器的所述参考频率；以及

在所述第二RF产生器的第二RF功率输出的第二输出频率与所述参考频率不同步时，将所述第二RF产生器的所述第二RF功率输出与所述参考频率去耦。

7.如权利要求6所述的方法，所述方法进一步包含：

由所述第二RF产生器，独立于所述第二RF功率输出以将所述参考频率输出到至少第三RF产生器。

8.如权利要求6所述的方法，所述方法进一步包含：

在所述第二输出频率与所述参考频率去耦时，使用第二时钟匀变将所述第二输出频率调整至所述参考频率以将所述第二输出频率耦合至所述参考频率；以及

在所述第二输出频率与所述参考频率同步时，将所述第二输出频率耦合至所述参考频率。

9.一种由至少一组RF产生器将射频(RF)功率供应至至少一个处理腔室的方法，包含：

在主RF产生器中产生参考频率；

从所述主RF产生器将所述参考频率传输至从RF产生器；

配置所述从RF产生器为独立于从RF功率输出以重新传输所述参考频率；

对所述主RF产生器的主RF功率输出产生主输出频率；

在所述主RF产生器的所述主RF功率输出的所述主输出频率不同于所述参考频率时，将所述主RF产生器的所述主RF功率输出与所述参考频率去耦；以及

在所述从RF产生器的从RF功率输出的从输出频率不同于所述参考频率时，将所述从RF产生器的所述从RF功率输出与所述参考频率去耦。

10.如权利要求9所述的方法，所述方法进一步包含：

在所述主输出频率与所述参考频率同步时，使用第一时钟匀变将所述主输出频率与所述参考频率调整至新参考频率。

11.如权利要求9所述的方法，所述方法进一步包含：

在所述主输出频率与所述参考频率去耦时，使用第二时钟匀变将所述主输出频率调整至所述参考频率以将所述主输出频率耦合至所述参考频率；以及

在所述主输出频率与所述参考频率同步时，将所述主输出频率耦合至所述参考频率。