[发明专利]慢波电路、行波管及行波管的制造方法

权利要求书

1.一种慢波电路，包括：

包括曲折形部分的波导，所述曲折形部分传送电磁波并交替重复第一折返部分和第二折返部分，所述第二折返部分折返到与所述第一折返部分相反的一侧；以及

束孔，传送电子束，在预定方向上延伸，并且穿过所述曲折形部分，

其中，所述束孔穿过所述曲折形部分，使得所述束孔的一部分在所述预定方向上连续地从所述第一折返部分突出。

2.根据权利要求1所述的慢波电路，其中，

所述第一折返部分沿第一参考面折返；

所述第二折返部分沿与所述第一参考面间隔开的第二参考面折返；以及

所述束孔穿过所述曲折形部分，使得所述束孔的所述一部分从所述第一参考面突出。

3.根据权利要求2所述的慢波电路，其中，

所述第一折返部分的顶部具有沿所述第一参考面的平坦面；以及

所述束孔穿过所述曲折形部分，使得所述束孔的一部分从所述平坦面突出。

4.根据权利要求2所述的慢波电路，其中，所述第二折返部分的顶部具有曲面。

5.根据权利要求2所述的慢波电路，其中，

所述束孔的横截面为圆形；

所述预定方向实质上平行于所述第一参考面和所述第二参考面；以及

所述束孔的横截面的直径是所述第一参考面与第三参考面之间的距离的0.8倍以上且1.2倍以下，所述第三参考面从所述第二参考面朝向所述第一参考面偏移所述波导的厚度。

6.根据权利要求5所述的慢波电路，其中，所述束孔的横截面的直径是所述电磁波的使用波长的0.2倍以上且0.3倍以下。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的慢波电路，其中，所述预定方向实质上平行于所述波导的在所述曲折形部分中的堆叠方向。

8.一种行波管，包括结构体，所述结构体包括根据权利要求1至6中任一项所述的慢波电路。

9.一种行波管的制造方法，包括：

第一步骤：在基板上形成第一抗蚀剂，以用于形成在预定方向上延伸的束孔；

第二步骤：在包括所述第一抗蚀剂的所述基板上形成第二抗蚀剂以用于形成波导，使得所述第一抗蚀剂在所述预定方向上连续地从所述第二抗蚀剂中的与第一折返部分相对应的部分突出，其中所述波导包括曲折形部分，所述曲折形部分交替重复所述第一折返部分和第二折返部分，所述第二折返部分折返到与所述第一折返部分相反的一侧；

第三步骤：在包括所述第一抗蚀剂和所述第二抗蚀剂的所述基板上形成第一结构体，使得所述第一抗蚀剂和所述第二抗蚀剂被完全掩埋；

第四步骤：通过从所述第一结构体中去除所述基板、所述第一抗蚀剂和所述第二抗蚀剂来形成包括所述束孔和所述波导的第一结构体；

第五步骤：通过与所述第一步骤至所述第四步骤相同的步骤来形成与所述第一结构体面对称的第二结构体；以及

第六步骤：将所述第一结构体与所述第二结构体接合。