[发明专利]碳电极及石英玻璃坩埚的制造方法在审
申请号: | 201980011928.0 | 申请日: | 2019-01-17 |
公开(公告)号: | CN111683906A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 友国和树 | 申请(专利权)人: | 信越石英株式会社 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;谢顺星 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电极 石英玻璃 坩埚 制造 方法 | ||
1.一种碳电极,其用于用以制造石英玻璃坩埚的电弧放电,所述碳电极的特征在于,
至少在所述碳电极的长度方向的距进行所述电弧放电的前端部50mm~130mm的范围内,在所述碳电极的表面上形成有凹部图案及凸部图案中的至少任意一种。
2.根据权利要求1所述的碳电极,其特征在于,
作为所述凹部图案及凸部图案中的至少任意一种,形成有多个凹部及多个凸部中的至少任意一种,
所述凹部的深度或所述凸部的高度为2.0mm以上10.0mm以下,以所述碳电极的未形成所述凹部及所述凸部的表面为基准面,至少在所述碳电极的长度方向的50mm~130mm的范围内的、任意的所述碳电极的长度方向20mm×圆周方向20mm的范围内,所述凹部及凸部中的至少任意一种以10%以上90%以下的面积比例存在。
3.根据权利要求1或2所述的碳电极,其特征在于,作为所述凹部图案及凸部图案中的至少任意一种,形成有槽及突起中的至少任意一种。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的碳电极,其特征在于,作为所述凹部图案及凸部图案中的至少任意一种,形成有螺纹槽,
该螺纹槽的深度为2.0mm以上10.0mm以下,螺距为1.0mm以上10mm以下。
5.一种石英玻璃坩埚的制造方法,其为制造石英玻璃坩埚的方法,其特征在于,其具有:
准备为所述石英玻璃坩埚的原料的原料石英粉并将其成型为坩埚形状的工序;及
使用权利要求1~4中任一项所述的碳电极进行电弧放电,将成型为所述坩埚形状的原料石英粉熔融的工序。
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