[发明专利]低温泵

说明书

本发明的低温泵(10)具备：制冷机(16)，其具备第1冷却台(22)及第2冷却台(24)；放射屏蔽件(30)，其包围第2冷却台(24)且沿轴向延伸，并且与第1冷却台(22)热连接；多个吸附低温板(60)，其在轴向上配置于进气口(12)与第2冷却台(24)之间，并且与第2冷却台(24)热连接；及冷凝低温板(68)，其在径向上配置于放射屏蔽件(30)与多个吸附低温板(60)之间，并且与第2冷却台(24)热连接，冷凝低温板(68)具有沿轴向延伸且两端开放的筒状形状。

技术领域

本发明涉及一种低温泵。

背景技术

低温泵为通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路工艺等中要求的清洁的真空环境。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-184540号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

根据蒸气压，被低温泵排出的气体大致分为第1种气体、第2种气体、第3种气体这三种。这三种气体有时还被称为第1类气体、第2类气体、第3类气体。第1种气体的蒸气压最低，代表例为水(水蒸气)。第2种气体具有中间的蒸气压，例如包括氮气或氩气。第3种气体的蒸气压最高，代表例为氢气。第2种气体在冷却至约20K以下的超低温面冷凝从而被排气，第3种气体吸附于设置在这种超低温面上且被冷却的活性炭等吸附材料从而被排气。第3种气体还被称为非冷凝性气体。

在适用于第3种气体的排气的低温泵的以往的设计中，虽然能够以高排气速度排出第3种气体，但是第2种气体的排气性能却往往被抑制得较低(例如，排气速度)。

本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于，实现第3种气体的高速排气的同时提高第2种气体的排气性能。

用于解决技术课题的手段

根据本发明的一种实施方式，低温泵具备：制冷机，其具备高温冷却台及低温冷却台；放射屏蔽件，其包围所述低温冷却台且沿轴向延伸，并且与所述高温冷却台热连接；多个吸附低温板，其在轴向上配置于低温泵进气口与所述低温冷却台之间，并且与所述低温冷却台热连接；及冷凝低温板，其在径向上配置于所述放射屏蔽件与所述多个吸附低温板之间，并且与所述低温冷却台热连接，所述冷凝低温板具有沿轴向延伸且两端开放的筒状形状。

另外，以上构成要件的任意组合或在方法、装置、系统等之间相互替换本发明的构成要件或表现的方式也作为本发明的方式而有效。

发明效果

根据本发明，能够实现第3种气体的高速排气的同时能够提高第2种气体的排气性能。

附图说明

图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵的侧剖视图。

图2是概略地表示图1所示的低温泵的俯视图。

图3是表示实施方式所涉及的第2级低温板总成的冷凝低温板的概略立体图。

图4是概略地表示其他实施方式所涉及的低温泵的侧剖视图。

图5是表示其他实施方式所涉及的第2级低温板总成的冷凝低温板的概略立体图。

具体实施方式

以下，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。在以下说明及附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注相同的符号，并适当省略重复说明。为了便于说明，在附图中，适当设定各部的比例尺和形状，除非另有说明，其不作限制性解释。实施方式为示例，其并不对本发明的范围作任何限定。实施方式中记载的所有特征或其组合并不一定是发明的本质。