[发明专利]测微头和使用该测微头的工作台机构

说明书

本发明提供一种即使是简单的构造，齿隙也极少的测微头。测微头(10)具备主轴(11)、套筒(13)、套管(15)、齿隙吸收部件(17)、以及套圈(19)，主轴(11)具有外螺纹部(11a)，套筒(13)具有与外螺纹部(11a)对应的内螺纹部(13a)，并且在套筒(13)组装有主轴(11)，套管(15)插入有套筒(13)的一部分，能够以套筒(13)为旋转轴旋转，一部分与主轴(11)的一端连接，圆筒形状的齿隙吸收部件(17)在套筒(13)内的与主轴(11)的外螺纹部(11a)对置的位置，以插入有主轴(11)的状态固定于套筒(13)，该齿隙吸收部件(17)防止主轴(11)的齿隙。

技术领域

本发明涉及测微头(Micro head)和使用该测微头的工作台机构。

特别涉及即使是简单的构造、齿隙也极少的测微头和使用该测微头的工作台机构。

背景技术

通常，测微头是指能够进行数μm单位的细小的进给的进给机构，是将主轴所具备的外螺纹与套筒所具备的内螺纹旋合而在轴上移动的构造。

以往，各种提出有减轻主轴与套筒(主轴支承筒)之间产生的齿隙、施加于主轴的扭曲等，提高响应性、重复精度的测微头。

例如，提出有具备具有与主轴的外螺纹部旋合的内螺纹部的增压环、在增压环与套筒分离的方向上施力的增压弹簧、以及以与增压环之间夹着增压弹簧的方式设置的调整螺母，从而减少齿隙的测微头(参照专利文献1)。

更具体而言，提出有图7所例示的测微头。

测微头100a具备：主轴支承筒120，上述主轴支承筒120在内周面形成有内螺纹部；和主轴110a，上述主轴110a在外周面具有与该主轴支承筒120的内螺纹部121旋合的外螺纹部。

另外，具备：增压环160，上述增压环160具有与主轴的外螺纹部旋合的内螺纹部161；和增压弹簧170，上述增压弹簧170在主轴的外周插入至增压环160与主轴支承筒120之间，并对增压环160向相对于主轴支承筒120分离的方向施力。

而且，在增压环160的外周边缘形成有向主轴110a的轴向贯通的贯通孔，贯通孔相对于与轴向平行地连结于主轴支承筒120的卡合销180以能够沿轴向位移的方式卡合。

因此，调整螺母150和增压环160起到双螺母的作用，能够减少齿隙。

另外，提出有在固定套筒的外周面形成有与主轴的外螺纹部相同螺距的外螺纹部，在套管的内周面形成有与固定套筒的外螺纹部旋合的内螺纹部，从而防止主轴的扭曲等的测微头(参照专利文献2)。

更具体而言，提出有图8所例示的测微头。

图8的(a)是千分尺200的俯视图，图8的(b)是测微头200a的沿图8的(a)中的A-A线的剖视图。

测微头200a具备主轴210、固定套筒220、套管230以及操作套筒240。固定套筒220具备与主轴210的外螺纹部210a旋合的内螺纹部221和与套管230的内螺纹部231旋合的外螺纹部223。

在该测微头200a中，若使操作套筒240旋转，则主轴210沿其轴向移动。

另一方面，在该测微头200a中，若对操作套筒240施加本来的力以外的力，例如扭曲力、径向方向的力等，则该力也传递到套管230。但是，由于套管230具备与固定套筒220的外螺纹部223旋合的内螺纹部231，因此传递到套管230的、本来的力以外的力由固定套筒220承受。

因此，扭曲力、径向方向的力不会施加于主轴210，因此能够减少测量值的偏差重要因素，因此，能够提高重复精度。

专利文献1：日本特开2010-210556号公报

专利文献2：日本特开2011-226839号公报