[发明专利]用于使电磁波束定形状的光学装置及其用途、束处理装置及其用途以及束处理方法

权利要求书

1.一种用于使电磁波束定形状的光学装置，所述束由源产生并且具有束传播方向和焦点，所述光学装置包括：

光学元件(7；7a，7b；2b；3；4；70)，所述光学元件(7；7a，7b；2b；3；4；70)定位在束传播方向内，以及

激励器装置(6；60；66，600)，所述激励器装置(6；60；66，600)连接至所述光学元件以用于引起所述焦点沿着可控的焦点振荡路径在垂直于所述束传播方向的平面的x方向和y方向中的至少一者上的振荡，所述x方向和所述y方向彼此不平行，

其中，所述激励器装置具有用于引起焦点振荡的x方向分量的至少第一激励器单元(15；17；150)和用于引起所述焦点振荡的y方向分量的至少第二激励器单元(15；17；150)，所述光学装置(1；100；110；120)还包括用于控制所述激励器装置的控制单元(61)；

其特征在于，相应的光学元件与所述激励器装置的连接用于引起仅所述光学元件的振荡重复运动。

2.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，所述焦点振荡具有至少一个频率，以及/或者所述焦点振荡路径具有路径长度。

3.根据权利要求2所述的光学装置，其特征在于，所述频率为100Hz或更大。

4.根据权利要求2和3中的任一项所述的光学装置，其特征在于，所述路径长度为至少0.1mm。

5.根据权利要求1至3中的任一项所述的光学装置，其特征在于，所述激励器装置具有第三激励器单元，所述第三激励器单元用于引起所述焦点振荡的z方向分量，其中，所述z方向垂直于x-y平面。

6.根据权利要求5所述的光学装置，其特征在于，能够由所述激励器装置在所述x方向、所述y方向和所述z方向中的至少一者上激励的所述焦点振荡的振幅等于或小于+/-1mm。

7.根据权利要求1至3中的任一项所述的光学装置，其特征在于，所述控制单元(61)包括预定义的二维和/或三维李萨如图(24)的数据库，并且，所述控制单元配置成将所述激励器装置控制成使得所产生的焦点振荡路径对应于所述预定义的李萨如图中的一个李萨如图或所述预定义的李萨如图中的多于一个李萨如图的组合。

8.根据权利要求5所述的光学装置，其特征在于，所述控制单元配置成在所述x方向、所述y方向和所述z方向中的任何一者上独立地调节所述焦点振荡的相位。

9.根据权利要求1至3中的任一项所述的光学装置，其特征在于，所述控制单元配置成根据所述束的处理方向来在x-y平面中定向所述振荡路径。

10.根据权利要求1至3中的任一项所述的光学装置，其特征在于，所述光学元件是选自聚焦透镜、准直透镜或者聚焦透镜和准直透镜的组合的透镜装置(7；7a，7b)，所述透镜装置连接至所述激励器装置以用于传输所述激励器装置的激励，从而提供所述透镜装置在平行于x-y平面的X-Y平面(12a，12b)中的振荡重复运动，所述透镜装置的所述振荡重复运动引起所述焦点在x方向和/或y方向上的振荡。

11.根据权利要求1至3中的任一项所述的光学装置，其特征在于，所述光学元件是光纤(2b)、光纤耦合器(3)、端部帽(4)中的一者或者光纤(2b)、光纤耦合器(3)和端部帽(4)的任何组合，所述光学元件的自由端部连接至所述激励器装置以用于传输所述激励器装置的激励，从而提供所述光学元件的所述自由端部在平行于x-y平面的X-Y平面(12a，12b)中的振荡重复运动，所述光学元件的所述自由端部的所述振荡重复运动引起所述焦点在x方向和/或y方向上的振荡。