[发明专利]感光性组合物在审

申请号：	201980010362.X	申请日：	2019-02-13
公开（公告）号：	CN111656280A	公开（公告）日：	2020-09-11
发明（设计）人：	大河原昂广;奈良裕树;中村翔一;吉林光司	申请（专利权）人：	富士胶片株式会社
主分类号：	G03F7/031	分类号：	G03F7/031;C08F2/48;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/20;H01L27/146
代理公司：	中科专利商标代理有限责任公司 11021	代理人：	朱丹
地址：	日本国***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	感光性组合
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【权利要求书】：

1.一种感光性组合物，其用于脉冲曝光且包含色材A、光引发剂B及与由所述光引发剂B产生的活性种进行反应而固化的化合物C，

所述光引发剂B包含满足下述条件1的光引发剂b1，

条件1：在最大瞬间照度375000000W/m²、脉冲宽度8纳秒、频率10Hz的条件下，对包含0.035mmol/L光引发剂b1的丙二醇单甲醚乙酸酯溶液脉冲曝光波长355nm的光之后的量子产率q₃₅₅为0.05以上。

2.根据权利要求1所述的感光性组合物，其中，

所述光引发剂b1的量子产率q₃₅₅为0.10以上。

3.根据权利要求1所述的用于脉冲曝光的感光性组合物，其中，

所述光引发剂b1满足下述条件2，

条件2：在最大瞬间照度375000000W/m²、脉冲宽度8纳秒、频率10Hz的条件下，对包含5质量％光引发剂b1及95质量％树脂的厚度1.0μm的膜，脉冲曝光波长265nm的光之后的量子产率q₂₆₅为0.05以上。

4.根据权利要求3所述的感光性组合物，其中，

所述光引发剂b1的量子产率q₂₆₅为0.10以上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性组合物，其中，

所述光引发剂b1满足下述条件3，

条件3：在最大瞬间照度625000000W/m²、脉冲宽度8纳秒、频率10Hz的条件下，对包含5质量％光引发剂b1及树脂的膜，以1脉冲曝光波长248～365nm的范围内的任一波长的光之后，所述膜中的活性种浓度达到每1cm²膜0.000000001mmol以上。

6.根据权利要求5所述的感光性组合物，其中，

所述光引发剂b1中，所述条件3中的所述膜中的活性种浓度达到每1cm²膜0.0000001mmol以上。

7.根据权利要求5或6所述的感光性组合物，其中，

所述光引发剂B包含2种以上的光引发剂且所述光引发剂B满足下述条件3a，

条件3a：在最大瞬间照度625000000W/m²、脉冲宽度8纳秒、频率10Hz的条件下，对包含5质量％混合物及树脂的膜，脉冲曝光波长248～365nm的范围内的任一波长的光0.1秒钟之后，所述膜中的活性种浓度达到每1cm²膜0.000000001mmol以上，其中，所述混合物以感光性组合物中所包含的比例混合有2种以上的光引发剂。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的感光性组合物，其中，

所述光引发剂B为光自由基聚合引发剂，且所述化合物C为自由基聚合性化合物。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的感光性组合物，其中，

所述化合物C包含2官能以上的自由基聚合性单体。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的感光性组合物，其中，

所述化合物C包含具有芴骨架的自由基聚合性单体。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的感光性组合物，其中，

所述感光性组合物的总固体成分中的所述色材A的含量为40质量％以上。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的感光性组合物，其中，

所述感光性组合物的总固体成分中的所述光引发剂B的含量为15质量％以下。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的感光性组合物，其中，

所述感光性组合物的总固体成分中的所述光引发剂B的含量为7质量％以下。