[发明专利]涂布装置及涂布系统

权利要求书

1.一种涂布装置，其具有：

长条的棒，经由涂布液而与在特定的行驶方向上连续行驶的长条的基板的至少一个面接触并旋转，且在与所述行驶方向正交的宽度方向上延伸；及

堰板，相对于所述棒而设置于所述基板的所述行驶方向的上游，使所述涂布液通过所述堰板与所述棒之间并向所述基板的所述行驶方向流通，

所述涂布装置具有将所述棒支承为能够旋转的主体块，且具有：

多个堰板，沿着所述棒的长度方向而配置；及

多个供给部，按每个所述堰板设置，向所述堰板供给所述涂布液，

在所述棒的所述长度方向上的所述堰板的间隔为3mm以上。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，

所述多个堰板分别能够改变在所述棒的所述长度方向上的位置。

3.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其中，

所述多个堰板分别在与所述棒之间具有储液部，

所述多个堰板分别能够改变所述储液部的容量。

4.根据权利要求3所述的涂布装置，其中，

所述多个堰板分别相对于所述基板的所述行驶方向能够移动，并能够改变所述棒与所述堰板的所述行驶方向上的距离。

5.根据权利要求3所述的涂布装置，其中，

由所述行驶方向和与所述行驶方向正交的高度方向所构成的平面上的所述储液部的截面积S为20mm²以上且100mm²以下，

所述储液部的所述截面积S是被所述平面上的所述棒的所述行驶方向的上游侧的周面、通过所述棒的旋转中心且通过所述棒的所述行驶方向的上游侧的端面与所述堰板的最短距离的线、经过通过所述最短距离的线与所述堰板的交点且与所述基板的面垂直的线、及所述基板所包围的部分的面积。

6.根据权利要求1至2、4、5中任一项所述的涂布装置，其中，

所述多个堰板分别在所述棒的所述长度方向的两端部设置有侧板。

7.根据权利要求3所述的涂布装置，其中，

所述多个堰板分别在所述棒的所述长度方向的两端部设置有侧板。

8.根据权利要求1至2、4、5中任一项所述的涂布装置，其中，

在面向所述多个堰板中相邻的堰板之间的所述堰板的所述棒的所述长度方向的端部设置有侧板。

9.根据权利要求3所述的涂布装置，其中，

在面向所述多个堰板中相邻的堰板之间的所述堰板的所述棒的所述长度方向的端部设置有侧板。

10.根据权利要求1至2、4、5中任一项所述的涂布装置，其中，

在所述主体块或所述各堰板具有储存所述涂布液的送液储存部。

11.根据权利要求3所述的涂布装置，其中，

在所述主体块或所述各堰板具有储存所述涂布液的送液储存部。

12.一种涂布系统，其中，

隔着基板而对向配置权利要求1至11中任一项所述的涂布装置而在所述基板的两个面将涂布液同时涂布成图案状。