[发明专利]悬臂接触探针及相应的探针头

权利要求书

1.悬臂接触探针(31)，包括插入在下倾探针部(31b)和上倾探针部(31c)之间的探针体(40)，当所述接触探针安装在悬臂探针头(30)中时，所述下倾探针部(31b)沿着相对于参考平面(π)倾斜的预先设定的纵向轴线(HH)延伸，所述参考平面对应于被测器件(35)的晶圆的平面，所述悬臂接触探针(31)还包括形成在所述下倾探针部(31b)中的至少一个端部(31a)，其相对于起始于弯曲点(PG1)并终止于所述悬臂接触探针(31)的接触尖端(36A)的所述纵向轴线(HH)弯曲，所述接触尖端(36A)适于抵靠在所述晶圆的被测器件(35)的接触垫(35A)上，其特征在于，所述成形体(40)被适当地成形并且包括至少一个基部(40a)，所述基部设有从所述基部(40a)开始沿着所述成形体(40)的纵向延伸轴线(A)延伸的上部(40d)，所述纵向延伸轴线(A)正交于所述参考平面(π)和顶部(40e)，所述顶部(40e)连接到所述上部(40d)并且具有比所述上部(40d)的直径(D1)更大的直径(D2)，所述上部和顶部(40d，40e)基本上构造成T形，所述上部(40d)是所述T形的杆，并且所述顶部(40e)是所述T形的横档。

2.根据权利要求1所述的悬臂接触探针(31)，其特征在于，所述上倾探针部(31c)与所述成形体(40)在所述顶部(40e)连接，所述下倾探针部(31b)与所述成形体(40)在所述基部(40a)连接。

3.根据权利要求1或2所述的悬臂接触探针(31)，其特征在于，所述成形体(40)的所述基部(40a)包括至少一对臂(40b1，40b2)，所述臂从所述基部(40a)的相对的部分沿着所述成形体(40)的横向延伸轴线(BB)延伸，所述横向延伸轴线垂直于所述纵向延伸轴线(AA)并且平行于所述参考平面(π)。

4.根据权利要求3所述的悬臂接触探针(31)，其特征在于，每个所述臂(40b1，40b2)包括各自的突起(40c1，40c2)，所述突起从此处开始，沿着所述成形体(40)的所述纵向延伸轴线(AA)在所述顶部(40e)的方向上正交延伸。

5.根据前述权利要求中的一项或多项所述的悬臂接触探针(31)，其特征在于，所述成形体(40)的所述基部(40a)具有大致矩形的纵向截面和沿着所述横向延伸轴线(BB)的最大横向尺寸，所述最大横向尺寸大于所述上部和顶部(40d，40e)的所述直径(D1，D2)。

6.根据前述权利要求中的一项或多项所述的悬臂接触探针(31)，其特征在于，至少包括所述基部(40a)、所述上部(40d)和所述顶部(40e)的所述成形体(40)被制成单个部件。

7.根据前述权利要求中的一项或多项所述的悬臂接触探针(31)，其特征在于，包括在所述上倾探针部(31c)中限定的靠近所述成形体(40)的所述顶部(40e)的另一弯曲点(PG2)，所述上倾探针部(31c)基本上正交于所述参考平面(π)，并终止于所述悬臂接触探针(31)的另一接触端(36B)。

8.根据前述权利要求中的一项或多项所述的悬臂接触探针(31)，其特征在于，所述成形体(40)包括开口(38)。

9.根据权利要求3和8所述的悬臂接触探针(31)，其特征在于，所述开口(38)靠近所述臂(40b1，40b2)之一形成，所述臂(40b1，40b2)中的一个的延伸大于所述臂(40b1，40b2)中的另一个。

10.根据前述权利要求中的一项或多项所述的悬臂接触探针(31)，其特征在于，还包括形成在所述下倾探针部(31b)和/或所述上倾探针部(31c)处的至少一个阻尼部(50，51)。