[发明专利]陶瓷成形体的脱脂方法和陶瓷烧成体的制造方法

说明书

包含陶瓷粉末和有机粘合剂的陶瓷成形体包含可氧化的陶瓷粉末作为陶瓷粉末，或者，包含可氧化的金属或金属化合物，或者，与包含可氧化的金属或金属化合物的固体相接。将该陶瓷成形体在氢气氛中以超过25℃/h的升降温速度升温和/或降温至在1100℃以上且1400℃以下的范围内设定的最高温度，然后在该最高温度进行脱脂。

技术领域

本发明涉及陶瓷成形体的脱脂方法和陶瓷烧成体的制造方法。

背景技术

作为陶瓷成形体的脱脂方法，已知通过对将浆料成形而得到的规定形状的陶瓷成形体进行热处理来进行脱脂的方法，其中，上述浆料包含陶瓷粉末、有机粘合剂和分散介质。例如，在专利文献1中说明了通过将陶瓷成形体在包含规定的氧气分压的氧气的过热水蒸汽中进行热处理，能够充分缩短脱脂完成为止所需的时间。然而，该脱脂方法中，在陶瓷成形体中包含可氧化的物质(例如氮化铝、Ni等)的情况下，有时可氧化的物质因过热水蒸汽而氧化，无法得到目标物性。

另一方面，专利文献2中公开了将层叠有陶瓷成形体和内部电极的层叠体在氮气中升温至常温～1300℃的温度而进行脱脂的方法，其中，上述陶瓷成形体包含陶瓷原料和有机粘合剂，上述内部电极以Ni为主成分。该方法中，由于在氮气中进行脱脂，能够防止层叠体氧化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-166123号公报

专利文献2：日本特开2003-124054号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

然而，在专利文献2中，为了抑制脱脂后的层叠体产生裂纹，将20～400℃的升温速度设定为25℃/h以下。因此，存在脱脂需要长时间这样的问题。

本发明是为了解决这样的课题而完成的发明，其主要目的在于在防止陶瓷成形体的裂纹的同时在短时间内可靠地进行陶瓷成形体的脱脂，并且防止陶瓷成形体和/或与陶瓷成形体相接的固体在脱脂处理中被氧化。

(用于解决课题的技术方案)

本发明的陶瓷成形体的脱脂方法是将包含陶瓷粉末和有机粘合剂的陶瓷成形体进行脱脂的陶瓷成形体的脱脂方法，其中，

上述陶瓷成形体包含可氧化的陶瓷粉末作为上述陶瓷粉末，或者，包含可氧化的金属或金属化合物，或者，与包含可氧化的金属或金属化合物的固体相接，

在氢气单质的气氛中或在氢气浓度为20体积％以上的不活泼气体和氢气的混合气体的气氛中，将上述陶瓷成形体以超过25℃/h的升温速度升温至在1100℃以上且1400℃以下的范围内设定的最高温度后，在上述最高温度进行脱脂，其后以超过25℃/h的降温速度进行降温。

本发明的另一陶瓷成形体的脱脂方法是将包含陶瓷粉末和有机粘合剂的陶瓷成形体进行脱脂的陶瓷成形体的脱脂方法，其中，

上述陶瓷成形体包含可氧化的陶瓷粉末作为上述陶瓷粉末，或者，包含可氧化的金属或金属化合物，或者，与包含可氧化的金属或金属化合物的固体相接，

在氢气单质的气氛中或在氢气浓度为20体积％以上的不活泼气体和氢气的混合气体的气氛中，将上述陶瓷成形体以超过25℃/h的升温速度升温至在600℃以上且1100℃以下的范围内设定的中间温度后，在上述中间温度保持规定时间，接着以超过25℃/h的升温速度升温至在1100℃以上且1400℃以下的范围内以超过上述中间温度的方式设定的最高温度后，在上述最高温度进行脱脂，其后以超过25℃/h的降温速度进行降温。

本发明的陶瓷烧成体的制造方法包括：

脱脂工序，其中，将包含陶瓷粉末和有机粘合剂的陶瓷成形体进行脱脂；以及

烧成工序，其中，将脱脂后的陶瓷成形体进行烧成，