[实用新型]一种用于纤维的在线式次真空等离子处理装置

说明书

本实用新型公开了一种用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，所述次真空等离子处理装置包括：真空抽气接头，密封接头，放电单元及支撑单元。放电单元包括正极连接板、负极连接板、玻璃管，以及绝缘板；支撑单元包括支撑架、中央支座、端头支座，以及底座。在所述次真空等离子处理装置中，通过真空泵在玻璃管内营造出一种次真空环境，实现稳定辉光放电，纤维材料在穿过玻璃管进行移动的过程中完成等离子处理，扩展了处理材料的适用范围，大大提升处理效率。

技术领域

本申请/实用新型涉及等离子体处理的技术领域，具体地说是一种用于纤维的在线式次真空等离子处理装置。

背景技术

辉光放电对纤维表面进行改性处理一般是在低气压下面完成的。其主要方法是把纤维材料放入辉光放电发生器内，将系统抽到一定的真空度，再通入反应或非反应性气体并调节系统真空度。然后接通高频电源，电极之间的气体被击穿，产生均匀稳定的辉光放电。常压低温等离子体有不同的放电类型，按照激发等离子体的规律源频率来区分，当前获得常压低温等离子体主要包括，常压介质阻挡辉光放电(DBD)和常压射频辉光放电(APGD)。其中介质阻挡放电(DBD)是一种能够在大气压条件下获得非平衡等离子体的有效手段，DBD可以在大气压或高于大气压条件下产生，不需要真空设备就能在较低的温度下获得化学反应所需的活性粒子，具有特殊的光、热、声、电等物理过程和化学过程，非常适合对高分子材料进行改性处理。

低温等离子体改善材料表面性能的机理可粗略认为：在低温等离子体反应室内，低压工作气体中的电子在电场加速作用下，由于电子碰撞及派生离子、原子的碰撞使气体电离，从而产生低温等离子体；低温等离子体中存在大量的离子、电子以及亚稳态、激发态、游离态粒子，这些粒子具有几个电子伏至十几个电子伏能量；伴随着等离子体产生将出现各种能量的光辐射：这些具有一定能量活性粒子和各种能量光辐射可直接引起材料表面发生某些物理变化和化学变化，活性离子和光辐射又可在低温下(低于400℃)分解反应气体使反应气体的生成物沉积到材料表面从而改变材料表面的物理化学性质；此外，有的高能离子会注入到基体材料表层，引起碰撞、散射激发、溅射、重排、异构、裂解等，也可使材料表面组成、成分及结构发生变化，低温等离子体技术还可以在不损害基底优良性能的同时，引入极性基团，增加表面粗糙程度，提高表面性能，从而实现材料表面的改性。

目前在大气压环境下，采用DBD放电工艺，对纤维材料进行处理，需要高电压才能实现放电，且放电温度较高，对不耐热纤维无法有效处理。在小于100Pa 的真空环境下进行，可以实现稳定辉光放电。但卷材必须事先放进反应仓内，无法实现在线式处理。

因此，如何提供一种在线的稳定辉光放电环境，以实现纤维材料流水线式等离子处理，同时避免放电区丝状放电，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种用于纤维的在线式次真空等离子处理装置，能够提供在线的稳定辉光放电环境，实现纤维材料流水线式等离子处理，同时避免放电区温度过高。

为了达到上述目的，本申请提供如下技术方案。

一种次真空等离子处理装置，包括真空抽气接头(3)、密封接头(4)、放电单元及支撑单元，所述放电单元包括正极连接板(5)、负极连接板(6)、玻璃管 (7)、绝缘板(8)，所述支撑单元包括支撑架(9)、中央支座(10)、端头支座 (11)、底座(14)，所述正极连接板(5)和绝缘板(8)连接，所述负极连接板 (6)与支撑架(9)连接，所述玻璃管(7)一端与真空抽气接头(3)连接，一端与密封接头(4)连接，所述真空抽气接头(3)设置于中央支座(10)上，所述密封接头(4)设置于端头支座(11)上；

所述真空抽气接头(3)为一个，所述密封接头(4)为两个，所述放电单元为两套，所述支撑单元为一套；