[实用新型]一种研磨液摇匀机

说明书

本实用新型公开一种研磨液摇匀机，包括储液箱、电机、偏心凸轮机构、机架和复位弹簧；储液箱、电机和偏心凸轮机构设于机架上，偏心凸轮机构包括中心轴、偏心轮、从动轴和滑块，中心轴安装在偏心轮中心，且中心轴连接电机，从动轴偏置安装在偏心轮上，且从动轴的末端安装滑块；储液箱沿中心线设有竖状滑槽和圆轴，滑块与竖状滑槽配合并在滑槽中滑动；圆轴设于储液箱底端，且位于中心轴下方，储液箱绕圆轴转动；储液箱左右两边各设有一复位弹簧，复位弹簧的一端连接在储液箱的底端，复位弹簧的另一端连接在机架上。本案偏心凸轮机构的一个转动周期正好实现储液箱的左右两边摆动，储液箱以中心线为摆动轴，摆动幅度大，摇匀过程稳定，提高摇匀效率。

技术领域

本实用新型涉及LED光电技术领域，尤其是指一种晶圆片研磨使用的研磨液摇匀机。

背景技术

研磨是晶圆片加工的重要环节之一，该环节所使用的研磨液需要配比混合出来，其中的溶质因为质量较大，所以和溶液较难均匀混合，以致于现有技术中大部分采用人工摇匀，但是这种方式费时费力，并不是长久之计；另一部分的用户则借助气缸机构进行摇匀，但由于气缸速度不可控造成机构冲击大，噪声严重，所需时间长，气缸容易损坏等问题出现。

依上述可见，现有摇匀方式两极分化严重，无法满足现有用户真正的需求，本案由此而生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种研磨液摇匀机，达到快捷摇匀的功能，不仅结构简易、副作用小，而且摇匀幅度大，使摇匀更充分。

为达成上述目的，本实用新型的解决方案为：一种研磨液摇匀机，包括储液箱、电机、偏心凸轮机构、机架和复位弹簧；

所述储液箱、电机和偏心凸轮机构设于机架上，偏心凸轮机构包括中心轴、偏心轮、从动轴和滑块，所述中心轴安装在偏心轮中心，且中心轴连接电机，所述从动轴偏置安装在偏心轮上，且从动轴的末端安装滑块；

所述储液箱沿中心线设有竖状滑槽和圆轴，所述滑块与竖状滑槽配合并在滑槽中滑动；所述圆轴设于储液箱底端，且位于中心轴下方，储液箱绕圆轴转动；

所述储液箱左右两边各设有一复位弹簧，复位弹簧的一端连接在储液箱的底端，复位弹簧的另一端连接在机架上。

优选的，所述机架上设有两个轴承座，所述储液箱的底端中心设有贯穿前后的半圆状凹槽，所述圆轴配合在凹槽中，且圆轴两端通过连接所述轴承座从而固定在机架上。

优选的，靠近偏心凸轮机构的所述轴承座上设有轴承孔，轴承孔中安装供中心轴穿置的轴承。

本实用新型的工作原理是：滑块的初始位置位于竖状滑槽的顶端，偏心凸轮机构在工作时会偏心带动从动轴上的滑块推动储液箱向一边偏转，此时推力大于弹力，偏转一边的复位弹簧为压缩状态，另一边的复位弹簧为拉伸状态，然后，随着储液箱的转动角度增大，竖状滑槽的角度也增大，因为储液箱绕圆轴转动，且圆轴位于中心轴下方，所以滑块与竖状滑槽的转动中心不同，即竖状滑槽的转动半径大于滑块的转动半径，随着竖状滑槽角度增大，滑块逐渐脱离竖状滑槽的顶端，并开始向竖状滑槽的底端滑动，推力逐渐减小，因此压缩的复位弹簧回弹，协同偏心凸轮机构回位(此时滑块位于竖状滑槽的底端)，接着，偏心凸轮机构继续转动，滑块向另一边偏转，偏转和回位原理与上述同理，从而偏心凸轮机构的一个转动周期正好实现储液箱的左右两边摆动。

采用上述方案后，本实用新型的增益效果在于：

①本实用新型采用具有冲击小、耐磨性好、使用寿命长的偏心凸轮机构，结构简单、副作用较少。

②本实用新型能够实现储液箱两边左右摆动，摆动幅度大，摇匀过程稳定，摇匀效率得到提高。

③本实用新型可灵活控制电机速度来控制储液箱两边左右摆动的摆动频率。

附图说明