[实用新型]一种回收制备超纯氩的装置

权利要求书

1.一种回收制备超纯氩的装置，其特征在于，包括依次通过管路串连的前置缓冲罐(1)、压缩机(2)、尾气预处理系统和低温再沸液化氩气系统；

所述的尾气预处理系统包括催化塔、热交换器、吸附干燥塔；所述的催化塔包括第一催化塔(3)和第二催化塔(5)，所述的第一催化塔(3)连接第一热交换器(4)，所述的第二催化塔(5)连接第二热交换器(6)；所述的第二热交换器(6)连接第一吸附干燥塔(7)和第二吸附干燥塔(8)，所述的第一吸附干燥塔(7)和第二吸附干燥塔(8)的出口连接主换热器(13)和次换热器(19)；

所述的低温再沸液化氩气系统包括依次连接的主换热器(13)、透平膨胀机(14)、冷凝塔(17)、再沸脱气塔(16)、液氨储存釜(15)，所述的液氨储存釜(15)内部设有次换热器(19)；所述的第一吸附干燥塔(7)和第二吸附干燥塔(8)经管道A连接次换热器(19)，所述的次换热器(19)出口连接冷凝塔(17)；

所述的液氨储存釜(15)经主换热器(13)连接产品气出口(11)；

所述的第一吸附干燥塔(7)和第二吸附干燥塔(8)经管道B与主换热器(13)连接，所述的再沸脱气塔(16)的顶部(18)经主换热器(13)连接废气排放口(12)。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的压缩机(2)为无油压缩机。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的第一催化塔(3)、第二催化塔(5)、第一吸附干燥塔(7)和第二吸附干燥塔(8)的内部和外壁均设有电加热元件。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的第一催化塔(3)、第二催化塔(5)长径比为3～8:1。