[实用新型]一种机械手臂用防静电支撑块

说明书

本实用新型公开了一种机械手臂用防静电支撑块，包括支撑块本体，所述支撑块本体上侧设有一体成型的格子形条带凸起，所述格子形条带凸起的每个格子内均嵌入固定有金属球，所述金属球均与固定在所述支撑块本体内的氖气真空管一个电极连接，所述氖气真空管的另一个电极接地。本实用新型可以使支撑块与其所支撑的玻璃基板背面摩擦所产生的静电得以有效释放，不会使玻璃基板上侧的薄膜晶体管TFT被击穿失效。本实用新型具有潜在市场价值。

技术领域

本实用新型涉及半导体和平板显示器生产设备领域，特别涉及一种机械手臂用防静电支撑块。

背景技术

在显示面板的制造过程中，不可避免的会使用真空设备在玻璃基板上进行镀膜，制作薄膜晶体管TFT所需要的各层膜。玻璃基板在这些真空设备中，通过机械手臂进行取放，玻璃基板在机械手臂上的固定只是依靠机械手臂上支撑块的摩擦力，在使用一定时间后，因磨损导致支撑块表面花纹变平，与玻璃基板背面接触面积变大。当机械手臂将玻璃基板送至其他地方时，在玻璃基板与支撑块分离时，容易造成支撑块表面和玻璃基板表面之间形成上千伏的电压，导致玻璃基板上方的薄膜晶体管TFT内静电大量积累，甚至被击穿失效。但支撑块一般为peek或陶瓷材质，导电率极低，其自身积累的静电也无法有效释放，会积累越来越多的静电，造成静电击穿现象越来越频繁和严重。

发明内容

为解决上述技术问题，本实用新型公开了一种能有效释放静电的机械手臂用防静电支撑块。

本实用新型的技术方案为：一种机械手臂用防静电支撑块，包括支撑块本体，所述支撑块本体上侧设有一体成型的格子形条带凸起，所述格子形条带凸起的每个格子内均嵌入固定有金属球，所述金属球均与固定在所述支撑块本体内的氖气真空管一个电极连接，所述氖气真空管的另一个电极接地。

进一步的，所述金属球为铜球或铝球。

进一步的，所述格子形条带凸起的高度为1～4mm。

进一步的，所述格子形条带凸起的高度大于所述金属球在所述支撑块本体上侧的高度，高度差为0～100um。

进一步的，所述支撑块本体为peek或陶瓷材料。

本实用新型结构简单，通过在支撑块上设置金属球，通过金属球与氖气真空管连接，将支撑块上产生的静电有效释放，不会影响玻璃基板上的薄膜晶体管TFT。本实用新型具有潜在的市场价值。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1的A-A截面示意图；

图3为本实用新型使用示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”等应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中介媒体相连，还可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。