[实用新型]一种分体式高纯金属浇铸模具的底座

说明书

本实用新型公开了集成电路用高纯金属熔炼与铸造技术领域的一种分体式高纯金属浇铸模具的底座。具体包括固定式底座、可拆卸式底座，所述可拆卸式底座置于所述固定式底座上，可拆卸式底座上表面中央位置设置盲孔；所述高纯金属浇铸模具置于盲孔中，所述盲孔的直径＞高纯金属浇铸模具外径，盲孔的深度≤所述可拆卸式底座厚度的一半，且盲孔的深度≤高纯金属浇铸模具高度；所述可拆卸式底座上表面设置防腐涂层。本实用新型提供的分体式高纯金属浇铸模具的底座适用于所有采用倾转式顶部浇铸的圆柱形模具设备，解决了传统单体式模具底座体积大、质量重、不易更换的难题。

技术领域

本实用新型属于集成电路用高纯金属熔炼与铸造技术领域，特别涉及一种分体式高纯金属浇铸模具的底座。

背景技术

高纯金属溅射靶材广泛应用于信息存储、集成电路、平面显示、太阳能电池等产业，主要通过磁控溅射技术获得各种薄膜功能材料。目前，按照化学成分可将溅射靶材分为：纯金属靶材，如铝、铜、钛、钽、钴等；合金靶材，如铝铜、铝硅、铜磷、铜铝、铜锰、钨钛、镍铂、镍钴、镍钒等。其中，镍钒合金靶材是在纯镍和纯钒靶材基础上发展而来的新型半导体关联材料，主要用于太阳能和电子信息行业。镍钒溅射靶材是在镍熔体中加入钒，使制备出的合金无磁性而更有利于磁控溅射，结合了镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点，可一次性完成溅射粘结层和阻挡层。

高纯金属或合金铸锭的制备是高纯金属溅射靶材制造的基础。高纯金属或合金通常是在真空感应炉中熔炼，采用锭模铸造制备高纯铸锭，其特征在于纯度高、周期短、成本低。镍钒合金铸锭所使用的铸造模具为两瓣式圆柱形石墨模具，底部开口，浇铸前需将模具合模并置于石墨底座上。石墨底座既可以封闭浇铸模具防止熔体流出，又可以调节熔炼坩埚到浇铸模具的距离。但由于镍钒合金对石墨底座具有腐蚀作用，且经历多次的高温熔体冲击后，石墨底座表面会出现腐蚀剥落而留下腐蚀坑，导致底座表面不平整而出现漏液现象。为避免石墨底座表面被腐蚀，常采用表面刷耐腐蚀涂料的方法，通常使用的涂料为水基悬浮液，需要进烘箱烘干，因此对于尺寸大、质量重的单体式底座操作比较困难。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，针对现有技术的不足，提供一种分体式高纯金属浇铸模具的底座，具体技术方案如下：

一种分体式高纯金属浇铸模具的底座包括固定式底座、可拆卸式底座，所述可拆卸式底座置于所述固定式底座上，可拆卸式底座上表面中央位置设置盲孔。

优选地，所述可拆卸式底座位于所述固定式底座上表面中央位置上。目的是增加高纯金属浇铸模具的稳定性，同时防止熔体渗漏。

所述高纯金属浇铸模具置于盲孔中，所述盲孔的直径＞高纯金属浇铸模具外径，盲孔的深度≤所述可拆卸式底座厚度的一半，且盲孔的深度≤高纯金属浇铸模具高度；

优选地，所述盲孔的直径匹配高纯金属浇铸模具外径。

所述可拆卸式底座上表面设置防腐涂层。

优选地，所述固定式底座形状为长方体或正方体，可拆卸式底座和高纯金属浇铸模具形状为圆柱体，固定式底座上表面短边长度或边长＞可拆卸式底座外径＞高纯金属浇铸模具外径。

优选地，所述固定式底座的材料为紫铜、石墨或耐火砖，固定式底座的上、下表面水平度均≤0.06mm/m。

优选地，所述可拆卸式底座的材料为紫铜、石墨或耐火砖，可拆卸式底座的上、下表面水平度均≤0.06mm/m。

本实用新型中所述固定式底座在使用前对其表面清扫，具体操作为用白棉布蘸酒精擦拭；固定式底座部分不需要频繁更换，只需要定期清洁即可，节约操作时间和生产成本。

本实用新型中所述可拆卸式底座在使用前对其上表面涂刷防腐涂料并进烘箱烘干，烘干工艺为：温度150～200℃、时间12～24h。所述可拆卸式底座部分可以重复使用，并根据使用情况更换相同材质、规格的新底座。