[实用新型]一种转盘及抛光设备

说明书

本实用新型涉及抛光设备技术领域，尤其涉及一种转盘及抛光设备。该转盘包括转盘本体和加强筋组件，转盘本体上设置有定位销安装位和多组抛光头安装位，加强筋组件包括第一加强筋组件、第二加强筋组件和第三加强筋组件，第一加强筋组件围设在定位销安装位的周侧，第二加强筋组件围设在多组抛光头安装位的周侧，且第一加强筋组件的中心和第二加强筋组件的中心均与转盘本体的中心重合，第三加强筋组件设置在相邻两组抛光头安装位之间且第三加强筋组件的两端分别与第一加强筋组件和第二加强筋组件相连接。该转盘结构简单，且能够提高转盘的结构强度，保证转盘与抛光头之间的垂直度和平行度，保证抛光质量。

技术领域

本实用新型涉及抛光设备技术领域，尤其涉及一种转盘及抛光设备。

背景技术

在硅片抛光设备中，转盘用于安装抛光头并驱动抛光头运动以进行工位切换，这就需要转盘有足够的强度与刚性，否则容易使抛光头与抛光盘的垂直度以及平行度产生偏差，从而造成硅片抛光量不均，使良品率下降。因此，亟待需要一种转盘以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于提供一种转盘，以解决现有技术中转盘容易变形的问题。

本实用新型的另一个目的在于提供一种抛光设备，通过应用上述转盘，能够防止转盘变形，保证转盘与抛光头之间的垂直度和平行度，保证抛光质量。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种转盘，包括：

转盘本体，其上设置有定位销安装位和多组抛光头安装位，所述定位销安装位的中心与所述转盘本体的中心的重合，多组所述抛光头安装位沿所述转盘本体的周向均匀设置；

加强筋组件，包括第一加强筋组件、第二加强筋组件和第三加强筋组件，所述第一加强筋组件围设在所述定位销安装位的周侧，所述第二加强筋组件围设在多组所述抛光头安装位的周侧，且所述第一加强筋组件的中心和所述第二加强筋组件的中心均与所述转盘本体的中心重合，所述第三加强筋组件设置在相邻两组所述抛光头安装位之间且所述第三加强筋组件的两端分别与所述第一加强筋组件和所述第二加强筋组件相连接。

作为转盘的优选方案，所述抛光头安装位的数量为四组，所述第一加强筋组件的形状为方形，每组所述抛光头安装位与所述第一加强筋组件的一条边相对应设置。

作为转盘的优选方案，所述第一加强筋组件包括第一加强筋，四条所述第一加强筋围设形成方形。

作为转盘的优选方案，所述第二加强筋组件的形状为等边八边形。

作为转盘的优选方案，所述第二加强筋组件包括第二加强筋，八条所述第二加强筋围设形成等边八边形。

作为转盘的优选方案，所述第三加强筋组件包括四条第三加强筋，相邻两组所述抛光头安装位之间均设置有一条所述第三加强筋。

作为转盘的优选方案，所述第三加强筋的一端与所述第一加强筋组件的转角处相连接，其另一端与所述第二加强筋组件中的一条所述第二加强筋的中间位置相连接。

作为转盘的优选方案，每组所述抛光头安装位包括两个安装孔，且每个所述安装孔对应安装一个抛光头。

一种抛光设备，包括如上所述的转盘。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：