[实用新型]一种适用于多位置顶升顶针的水平可调机构有效

专利信息
申请号: 201922464820.7 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN210897241U 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 侯永刚;胡冬冬;程实然;李娜;刘海洋;王铖熠;陈兆超;许开东 申请(专利权)人: 江苏鲁汶仪器有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01J37/32
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 李想
地址: 221300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 置顶 顶针 水平 可调 机构
【权利要求书】:

1.一种适用于多位置顶升顶针的水平可调机构,其特征在于:包括腔室,热台,顶针,顶板,顶针波纹管,气缸,底板座,热台波纹管,顶升机构;所述的腔室内设有热台,热台内设有顶针孔,热台下设有顶板;热台的下端通过热台波纹管与顶升机构相连,热台波纹管底端与顶升机构之间通过法兰相连;顶升机构用于控制热台上下运动;顶针孔内设有顶针,顶针的底端布置在顶板上,顶板的底端设有顶针波纹管,顶针波纹管的底端与气缸相连;顶针波纹管的底端与气缸的驱动端之间设有水平调节机构。

2.根据权利要求1所述的适用于多位置顶升顶针的水平可调机构,其特征在于:所述的水平调节机构包括法兰板,固定螺栓,顶丝,气缸,布置于气缸驱动端的活塞板;顶针波纹管的底端设有法兰板,法兰板与活塞板相接,法兰板与活塞板上设有相匹配的螺孔,通过固定螺栓相互固定;活塞板上还设有顶丝孔及顶丝;顶丝抵触活塞板,顶丝的抵触高度调节活塞板的水平度。

3.根据权利要求2所述的适用于多位置顶升顶针的水平可调机构,其特征在于:所述的法兰板与活塞板均为板状结构,法兰板的中心处与顶针波纹管相连;位于顶针波纹管的两侧分别设有顶丝,通过顶丝沿顶丝孔的升降,调节法兰板的与活塞板之间的倾斜度直至法兰板保持水平。

4.根据权利要求2所述的适用于多位置顶升顶针的水平可调机构,其特征在于:通过法兰板的水平度调节其顶板及顶针的水平度。

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