[实用新型]一种改进型防刮伤晶圆转移装置

权利要求书

1.一种改进型防刮伤晶圆转移装置，包括底部固定座和上部固定座，设置在底部固定座和上部固定座之间的支柱，设置在底部固定座和上部固定座之间的转轴，转轴通过设置在上部固定座上的驱动装置驱动；其特征在于，所述转轴上配合安装有转动组件，转动组件的末端配合设置有转移机构。

2.根据权利要求1所述的一种改进型防刮伤晶圆转移装置，其特征在于：所述转动组件包括上侧板和下侧板，设置在上侧板和下侧板近端之间的大带轮，设置在上侧板上面的齿轮箱，齿轮箱与转轴连接并通过转轴带动大带轮进行转动。

3.根据权利要求2所述的一种改进型防刮伤晶圆转移装置，其特征在于： 所述上侧板和下侧板的远端之间还配合设置有小带轮，小带轮和大带轮之间设置有同步齿形带。

4.根据权利要求2所述的一种改进型防刮伤晶圆转移装置，其特征在于： 所述上侧板和下侧板的中间位置设置有压紧装置，所述压紧装置包括设置在上侧板上的压紧板，安装在压紧板上的气缸，配合气缸设置的压紧轮，所述压紧轮之间压紧在同步齿形带的外面。

5.根据权利要求1所述的一种改进型防刮伤晶圆转移装置，其特征在于： 所述转移机构包括转移固定板，设置在转移固定板上的吸盘，配合吸盘设置的抽吸装置，所述吸盘通过抽吸装置进行抽吸空气。

6.根据权利要求2-4任意一项所述的一种改进型防刮伤晶圆转移装置，其特征在于：所述上侧板的顶部还设置有伸缩气缸，伸缩气缸的连杆与吸盘连接，所述伸缩气缸带动吸盘进行上下移动。