[实用新型]抛光盘固定装置

说明书

本实用新型提供了一种抛光盘固定装置，其包括固定盘和限位组件，固定盘具有相对设置的结合面和安装面，固定盘上设有气孔，气孔连通结合面与安装面，结合面上设有多圈间隔设置的环形凹槽，且各环形凹槽均与气孔相连通；限位组件包括至少三个沿固定盘的周向间隔设置的限位块，限位块连接于固定盘的周侧壁上，固定盘的圆心位于以各限位块为顶点形成的多边形的内部。本实用新型的抛光盘固定装置，使得抛光盘能通过真空吸附的方式连接于固定盘上，既实现了光盘的轴向限位，又使得抛光盘的拆卸与安装操作简单方便。

技术领域

本实用新型涉及硅片抛光技术领域，特别涉及一种抛光盘固定装置。

背景技术

在半导体抛光加工工艺中，其方法通常是：在抛光盘上粘贴特殊的抛光垫，上方供给特殊的抛光液，抛光盘旋转速度匹配不同抛光工序；硅片固定于抛光头下方的夹具，待抛光表面与抛光垫直接接触，在抛光压力下完成相应的抛光步骤。而针对不同客户要求，抛光盘需要经常修整平面以配合硅片的待抛光表面。

目前通常是使用螺钉将抛光盘固锁于固定盘上，但是，由于重量大使抛光盘的拆卸与安装均十分不便，且容易因操作失误而导致机器受损和人员受伤。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种便于抛光盘的拆卸与安装的抛光盘固定装置。

为达到上述目的，本实用新型提供了一种抛光盘固定装置，其包括：

固定盘，其具有相对设置的结合面和安装面，所述固定盘上设有气孔，所述气孔连通所述结合面与所述安装面，所述结合面上设有多圈间隔设置的环形凹槽，且各所述环形凹槽均与所述气孔相连通；

限位组件，其包括至少三个沿所述固定盘的周向间隔设置的限位块，所述限位块连接于所述固定盘的周侧壁上，且所述固定盘的圆心位于以各所述限位块为顶点形成的多边形的内部。

如上所述的抛光盘固定装置，其中，多圈所述环形凹槽等间隔设置。

如上所述的抛光盘固定装置，其中，所述限位块上设有卡扣，所述固定盘的周侧壁上设有多个与各所述限位块的卡扣卡接配合的卡槽。

如上所述的抛光盘固定装置，其中，所述限位块通过螺栓连接于所述固定盘的周侧壁上。

如上所述的抛光盘固定装置，其中，所述限位块通过连接销连接于所述固定盘的周侧壁上。

如上所述的抛光盘固定装置，其中，所述限位块的外表面设有倒角。

如上所述的抛光盘固定装置，其中，所述限位组件的各所述限位块沿所述固定盘的周向均布。

如上所述的抛光盘固定装置，其中，所述气孔设置于所述固定盘的中心。

如上所述的抛光盘固定装置，其中，所述结合面上沿所述气孔的周向设有多条呈放射状排布的通道，多圈所述环形凹槽通过所述通道与所述气孔相连通。

如上所述的抛光盘固定装置，其中，多条所述通道沿所述气孔的周向均布。

与现有技术相比，本实用新型的优点如下：

本实用新型的抛光盘固定装置，通过设置气孔和与气孔相连通的环形凹槽，使得抛光盘能通过真空吸附的方式连接于固定盘上，既实现了光盘的轴向限位，又使得抛光盘的拆卸与安装操作简单方便；通过设置限位组件，实现了抛光盘的径向限位，从而使得抛光盘能够可靠的连接于固定盘上。

附图说明

以下附图仅旨在于对本实用新型做示意性说明和解释，并不限定本实用新型的范围。其中：

图1是本实用新型的抛光盘固定装置的结构示意图；

图2是图1所示的抛光盘固定装置中固定盘的结构示意图。

附图标号说明：