[实用新型]一种扩散炉用出料装置

说明书

本实用新型公开了一种扩散炉用出料装置，包括炉体，所述炉体的顶部两端均固定连接有第一电机，所述第一电机的输出轴固定连接有第一螺纹杆，两个所述第一螺纹杆的外表面共同螺纹连接有升降架，所述升降架的两侧均固定连接有滑块，所述炉体的内壁对应滑块的位置设置有滑槽，且滑块与滑槽滑动连接，所述升降架的顶部一侧的位置固定连接有第三电机。本实用新型中，旋转杆能够带动半齿轮转动，半齿轮能够带动齿轮转动，齿轮能够带动固定杆转动，固定杆能够带动石英舟转动，从而可以将石英舟内部的物件自动移出炉体的内部，结构简单，成本低，便于炉体能够自动出料，方便人们使用，同时可以使增加扩散的效率。

技术领域

本实用新型涉及出料装置技术领域，尤其涉及一种扩散炉用出料装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉由控制系统、石英舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成，扩散炉有垂直扩散炉和水平扩散炉两种类型。

由于扩散炉需要通过高温对物件进行扩散的一种工艺，但扩散结束后，需要人们取出扩散后的物件，所以需要用到一种扩散炉用出料装置，现有的扩散炉出料结构非常复杂，其成本也非常高，操作比较繁琐，使用有一定的不便，有一定的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种扩散炉用出料装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种扩散炉用出料装置，包括炉体，所述炉体的顶部两端均固定连接有第一电机，所述第一电机的输出轴固定连接有第一螺纹杆，两个所述第一螺纹杆的外表面共同螺纹连接有升降架，所述升降架的两侧均固定连接有滑块，所述炉体的内壁对应滑块的位置设置有滑槽，且滑块与滑槽滑动连接，所述升降架的顶部一侧的位置固定连接有第三电机，所述第三电机的输出轴固定连接有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的远离第三电机的一端转动连接有固定座，所述第二螺纹杆的外表面螺纹连接有移动板，所述移动板的顶部两端均固定连接有固定架，两个所述固定架的内侧均通过轴承转动连接有固定杆，两个所述固定杆远离固定架的一端共同固定连接有石英舟，所述固定杆的外表面固定连接有齿轮，所述移动板的顶部固定连接有电机座，所述电机座的顶部固定连接有第二电机，所述第二电机的输出轴固定连接有旋转杆，所述旋转杆远离固定架的一端固定连接有半齿轮，且半齿轮与齿轮啮合连接，所述石英舟的底部固定连接有第二磁铁，所述移动板的顶部对应第二磁铁的位置固定连接有第一磁铁。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述旋转杆与固定架贯穿连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定座与升降架固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述移动板与升降架贯穿连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述炉体的顶部一端设置有进料口，所述炉体的底部另一端设置有出料口。

作为上述技术方案的进一步描述：

两个所述固定杆位于同一中心轴上。

本实用新型具有如下有益效果：

1、该扩散炉用出料装置，在使用时，通过设置的第二电机、旋转杆、半齿轮、齿轮、固定杆与石英舟，第二电机能够带动旋转杆转动，旋转杆能够带动半齿轮转动，半齿轮能够带动齿轮转动，齿轮能够带动固定杆转动，固定杆能够带动石英舟转动，从而可以将石英舟内部的物件自动移出炉体的内部，结构简单，成本低，便于炉体能够自动出料，方便人们使用，同时可以使增加扩散的效率。