[实用新型]一种高纯砷晶体的制备装置

权利要求书

1.一种高纯砷晶体的制备装置，其特征在于，包括加热炉(9)和设置在加热炉(9)内的反应容器(11)，所述反应容器(11)的顶部开口和侧壁填料口分别设置有可开关的上盖板(14)和侧盖板(15)，所述上盖板(14)上分别设置有第一开口、第二开口和第三开口，所述第一开口、第二开口和第三开口分别连接有真空供气系统、废气处理系统和防爆装置；

所述加热炉(9)的侧壁上设置有上加热装置(6)和下加热装置(5)，用于对反应容器(11)进行加热，分别形成上半部分温区和下半部分温区，所述上半部分温区和下半部分温区中分别设置有热电偶(7)用于检测温度。

2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述上加热装置(6)和下加热装置(5)独立地包括电阻丝和硅碳棒中的一种。

3.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述反应容器(11)的材质包括金属、陶瓷和石英玻璃中的一种。

4.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述真空供气系统包括并联设置的真空泵(1)和气瓶(4)，所述真空泵(1)的出口处设置有第一阀门(2)，所述气瓶(4)的出口处设置有第二阀门(3)。

5.根据权利要求1或4所述的制备装置，其特征在于，所述上盖板(14)的第一开口处设置有第三阀门(8)。

6.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述废气处理系统包括回收容器(17)以及连通回收容器(17)和反应容器(11)的第一管路，所述第一管路的表面设置有电阻丝(16)。

7.根据权利要求1或6所述的制备装置，其特征在于，所述上盖板(14)的第二开口处设置有第四阀门(12)。

8.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述防爆装置包括自动安全漏气阀门(13)以及连通回收容器(17)和反应容器(11)的第二管路。

9.根据权利要求8所述的制备装置，其特征在于，所述自动安全漏气阀门(13)设置在上盖板(14)的第三开口处。