[实用新型]一种MEMS阵列传感器

说明书

本实用新型提供一种MEMS阵列传感器，包括压板、弹性钢片、销杆、垫片、撑块、导热硅胶垫、底板以及边框，MEMS传感器芯片下侧安装有底板，底板上端面装配有边框，边框外侧装配有弹性钢片，弹性钢片上侧连接有压板，底板上端面装配有导热硅胶垫，底板上端面装配有撑块，撑块上端面装配有销杆，销杆环形侧面下侧装配有垫片，该设计解决了原有MEMS传感器芯片不便于进行卡装固定的问题，本实用新型结构合理，便于提高MEMS传感器的固定效果，便于安装。

技术领域

本实用新型是一种MEMS阵列传感器，属于MEMS阵列传感器技术领域。

背景技术

MEMS传感器即微机电系统，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

MEMS传感器由于体积非常小，在进行安装的过程中不便于固定，若是安装不佳，容易导致电路故障，现有的MEMS传感器芯片不便于进行卡装固定，现在急需一种MEMS阵列传感器来解决上述出现的问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种MEMS阵列传感器，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型结构合理，便于提高MEMS传感器的固定效果，便于安装。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种MEMS阵列传感器，包括MEMS传感器芯片、固定机构以及安装座，所述MEMS传感器芯片外侧装配有安装座，所述MEMS传感器芯片内部设置有固定机构，所述固定机构包括压板、弹性钢片、销杆、垫片、撑块、导热硅胶垫、底板以及边框，所述MEMS传感器芯片下侧安装有底板，所述底板上端面装配有边框，所述边框外侧装配有弹性钢片，所述弹性钢片上侧连接有压板，所述底板上端面装配有导热硅胶垫，所述底板上端面装配有撑块，所述撑块上端面装配有销杆，所述销杆环形侧面下侧装配有垫片。

进一步地，所述销杆环形侧面上侧装配有凸环，所述压板上端面开设有卡孔，且卡孔内径略大于销杆直径，卡孔内径略小于凸环直径。

进一步地，所述压板设有四组，且四组压板两端均设有倒角。

进一步地，所述导热硅胶垫上端面与MEMS传感器芯片下端面相贴合，所述导热硅胶垫下端面与底板上端面相贴合。

进一步地，所述弹性钢片为弧形，所述边框通过弹性钢片与压板相连接。

进一步地，所述安装座内部开设有螺纹孔，所述安装座设有多组，且多组安装座规格相同。

本实用新型的有益效果：本实用新型的一种MEMS阵列传感器，因本实用新型添加了压板、弹性钢片、销杆、垫片、撑块、导热硅胶垫、底板以及边框，该设计能提高MEMS传感器芯片的固定卡装效果，解决了原有MEMS传感器芯片不便于进行卡装固定的问题，提高了本实用新型的固定卡装效果。