[实用新型]微波等离子体化学气相沉积中一种可旋转生长金刚石的装置

权利要求书

1.微波等离子体化学气相沉积中一种可旋转生长金刚石的装置，其特征在于，包括用于提供微波等离子体金刚石生长环境的腔体(3)，所述腔体(3)内设置有可旋转样品托(2)，所述可旋转样品托(2)用于放置金刚石(1)，所述可旋转样品托(2)可绕中心轴旋转，继而带动金刚石(1)旋转。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述可旋转样品托(2)为圆柱体，所述圆柱体的上表面为水平且用于放置金刚石(1)；所述可旋转样品托(2)为圆柱体，所述圆柱体的上表面开有凹槽(7)，所述凹槽(7)的底面为水平状，其内用于放置金刚石(1)。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，还包括动力装置，所述动力装置与所述可旋转样品托(2)相连接，并用于带动所述可旋转样品托(2)旋转。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述动力装置包括：传动装置(5)，其输出端为竖直向其与所述可旋转样品托(2)同轴连接，步进电机(6)，设置于所述腔体(3)外，与所述传动装置(5)的输入端相连接。