[实用新型]一种双层抽真空机构

权利要求书

1.一种双层抽真空机构，其特征在于：包括吊装于顶座(1)上的上真空罩组(3)、安装于中座(2)上的下真空罩组(4)和驱动机构(6)，所述上真空罩组(3)包括开口向下的上真空罩(301)和安装于所述上真空罩(301)内的上热盘(302)，所述下真空罩组(4)包括开口向上且能与所述上真空罩(301)组成抽真空室的下真空罩(401)和安装于所述下真空罩(401)内的下热盘(402)，所述上热盘(302)与所述下热盘(402)中间设置有中热盘(5)，所述驱动机构(6)驱动所述上真空罩(301)与所述下真空罩(401)移动并组成抽真空室，所述驱动机构(6)驱动所述上热盘(302)、所述中热盘(5)和所述下热盘(402)相互靠近，所述上热盘(302)与所述中热盘(5)相互靠近构成第一加热区，所述中热盘(5)与所述下热盘(402)相互靠近构成第二加热区。

2.根据权利要求1所述的双层抽真空机构，其特征在于：所述驱动机构(6)包括中热盘驱动机构(601)和中座驱动机构(602)，所述中热盘驱动机构(601)驱动所述中热盘(5)上移，所述中座驱动机构(602)驱动所述中座(2)和设置于所述中座(2)上的所述下真空罩组(4)整体上移。

3.根据权利要求1所述的双层抽真空机构，其特征在于：所述驱动机构(6)包括上真空罩驱动机构(603)和下真空罩驱动机构(604)，所述上真空罩驱动机构(603)驱动所述上真空罩(301)下移，所述下真空罩驱动机构(604)驱动所述下真空罩(401)上移。

4.根据权利要求1所述的双层抽真空机构，其特征在于：所述上真空罩(301)通过上滑柱(303)可滑动的设置于所述顶座(1)下方，所述上热盘(302)固定于所述上滑柱(303)的下端，所述上滑柱(303)上端连接于所述顶座(1)；所述下真空罩(401)通过下滑柱(403)可滑动的设置于所述中座(2)上方，所述下热盘(402)固定于所述下滑柱(403)的上端，所述下滑柱(403)下端连接于所述中座(2)。

5.根据权利要求4所述的双层抽真空机构，其特征在于：所述上滑柱(303)的数量为两个，所述下滑柱(403)的数量为两个。

6.根据权利要求2所述的双层抽真空机构，其特征在于：所述双层抽真空机构包括中热盘同步机构(7)，所述中热盘同步机构(7)作用于所述中热盘(5)两端，保证所述中热盘(5)两端同步移动。

7.根据权利要求6所述的双层抽真空机构，其特征在于：所述中热盘同步机构(7)包括两端设有齿轮(701)的转轴(702)，所述转轴(702)两侧齿轮(701)上分别安装有第一齿条(703)和第二齿条(704)，所述第一齿条(703)一端固定或间接固定于所述中热盘(5)一端，所述第二齿条(704)一端固定或间接固定于所述中热盘(5)另一端。

8.根据权利要求1所述的双层抽真空机构，其特征在于：所述双层抽真空机构包括支撑柱(8)，所述中热盘(5)可滑动的安装于所述支撑柱(8)上，所述中座(2)可滑动的安装于所述支撑柱(8)上。

9.根据权利要求1所述的双层抽真空机构，其特征在于：所述中热盘(5)两侧安装有中热盘支撑座(9)，所述中热盘(5)依靠所述中热盘支撑座(9)滑动安装于所述双层抽真空机构中，所述中热盘(5)与所述中热盘支撑座(9)之间设有隔热板(10)。