[实用新型]一种可精确控制大流量液体蒸发的多通道汽化装置

权利要求书

1.一种可精确控制大流量液体蒸发的多通道汽化装置，其特征在于，包括液体罐(1)、单通道恒流泵(2)、汽化器(3)，单通道恒流泵(2)的进口通过管道连接液体罐(1)，且单通道恒流泵(2)的出口通过管道连接汽化器(3)，汽化器(3)采用高导热性6061铝合金材质制作，汽化器(3)上安装有PID温控器(4)，汽化器(3)的一端设置有出气管(5)；

汽化器(3)为三通道汽化器，内部设有三个进液口(32)，每个所述的进液口(32)均对应设置有一个加热管(31)，多个进液口(32)的端部连通有蒸汽出口(33)，汽化器(3)内部中间位置安装有热电偶(34)。

2.根据权利要求1所述的一种可精确控制大流量液体蒸发的多通道汽化装置，其特征在于，所述汽化器(3)采用双通道结构，具有两个进液口(32)以及与进液口(32)对应的加热管(31)。

3.根据权利要求1所述的一种可精确控制大流量液体蒸发的多通道汽化装置，其特征在于，所述液体罐(1)与汽化器(3)之间采用三通道恒流泵(6)。

4.根据权利要求1或3所述的一种可精确控制大流量液体蒸发的多通道汽化装置，其特征在于，所述单通道恒流泵(2)和三通道恒流泵(6)均采用精度高脉冲小的实验室恒流泵。

5.根据权利要求1所述的一种可精确控制大流量液体蒸发的多通道汽化装置，其特征在于，所述PID温控器(4)温差为±0.1℃。