[实用新型]一种用于石英晶体生产设备的冷却水循环系统

权利要求书

1.一种用于石英晶体生产设备的冷却水循环系统，其特征在于：它包括密闭容体（1）和均与所述密闭容体（1）相连接的出水管（2）和回水管（3），所述密闭容体（1）内设置有制冷系统，所述密闭容体（1）外部设置有纯水补给系统（4），所述纯水补给系统（4）与所述密闭容体（1）相连接，所述出水管（2）上设置有第一水泵（5）和第一开关阀（6），所述出水管（2）经过石英晶体生产设备（7）后与所述回水管（3）相连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英晶体生产设备的冷却水循环系统，其特征在于：所述制冷系统包括蒸发器、室外机、MCU控制器、显示器和温度感应包，所述蒸发器安装于所述密闭容体（1）内，所述温度感应包安装于所述密闭容体（1）内且位于所述回水管（3）接口处，所述蒸发器、所述室外机、所述显示器和温度感应包均与所述MCU控制器电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于石英晶体生产设备的冷却水循环系统，其特征在于：所述纯水补给系统（4）包括纯水箱（41）、纯水管路（42）、纯水电动阀门（43）和液位传感器，所述液位传感器安装于所述密闭容体（1）内的低位处，所述纯水箱（41）通过纯水管路（42）与所述密闭容体（1）相连接，所述纯水电动阀门（43）安装于所述纯水管路（42）上，所述纯水电动阀门（43）和所述液位传感器均与所述MCU控制器电性连接。

4.根据权利要求2所述的一种用于石英晶体生产设备的冷却水循环系统，其特征在于：所述出水管（2）安装有所述第一水泵（5）和所述第一开关阀（6）的部分并联有分支管（8），所述分支管（8）上安装有第二水泵（9）和第二开关阀（10）。

5.根据权利要求1所述的一种用于石英晶体生产设备的冷却水循环系统，其特征在于：所述密闭容体（1）包括储水箱和与所述储水箱相适配的水箱盖，所述储水箱的外部设置有保温层。

6.根据权利要求1所述的一种用于石英晶体生产设备的冷却水循环系统，其特征在于：所述石英晶体生产设备（7）上设有进水冷却管路（11），所述进水冷却管路（11）的一端与所述出水管（2）相连接，所述进水冷却管路（11）的另一端与所述回水管（3）相连接。