[实用新型]一种离子束镀膜聚焦离子源有效
| 申请号： | 201922420423.X | 申请日： | 2019-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN211125568U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 安建昊;唐欢欢 | 申请（专利权）人： | 江苏普拉斯玛机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 镀膜 聚焦 离子源 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子束镀膜聚焦离子源，包括放电室(1)、安装在放电室(1)内并与放电室(1)绝缘的阳极筒(2)、设置在阳极筒(2)外周侧的若干磁极(3)、安装在放电室(1)的送气口(4)前方且位于阳极筒(2)内的阴极灯丝(5)及依次安装在放电室(1)正前方的聚焦屏栅(6)和聚焦加速栅(7)，其特征在于：所述阳极筒(2)位于所述阴极灯丝(5)的一端沿周开设有若干气孔(8)，若干所述气孔(8)上设有一圈中空的凸起(9)，所述凸起(9)与所述送气口(4)连通。
2.根据权利要求1所述的一种离子束镀膜聚焦离子源，其特征在于：所述阳极筒(2)与所述凸起(9)一体成型。
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