[实用新型]一种铝卷材高温退火炉电控柜

说明书

本实用新型公开了一种铝卷材高温退火炉电控柜，所述移动架位于所示柜体内部，所述移动架底部两端固定连接有滑动条，所述滑动条内侧开设有螺纹孔，所述柜体底部对应所述滑动条位置固定连接有滑轨，所述滑动条嵌于所述滑轨内与所述滑轨滑动连接，所述滑轨靠近所述螺纹孔一侧侧壁开设有通孔，所述通孔沿所述滑轨长度方向呈等间距分布，所述螺栓与所述螺纹孔螺纹连接将所述移动架固定于所述滑轨内，所述移动架中部两侧固定连接有滑动块，所述柜体对应所述滑动块位置开设有滑槽，所述滑动块嵌于所述凹槽内与所述凹槽滑动连接。本实用新型通过设置移动架且通过移动架在柜体内的移动来改变移动架中零件的位置使其便于维修。

技术领域

本实用新型涉及板材工艺设备领域，特别涉及一种铝卷材高温退火炉电控柜。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底截面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉需通过退火炉电控柜进行控制操作，在现有的退火炉电控柜中，为了对控制箱等重要部件进行保护通常将其置于控制柜的中部，由于电控柜自身较为窄小，当需要对控制箱进行检查和维修时难以进行操作。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种铝卷材高温退火炉电控柜，解决了电控柜的控制箱等重要部件固定于电控柜中部而难以检查维修的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种铝卷材高温退火炉电控柜，包括柜体、移动架、螺栓，所述移动架位于所示柜体内部，所述移动架底部两端固定连接有滑动条，所述滑动条内侧开设有螺纹孔，所述柜体底部对应所述滑动条位置固定连接有滑轨，所述滑动条嵌于所述滑轨内与所述滑轨滑动连接，所述滑轨靠近所述螺纹孔一侧侧壁开设有通孔，所述通孔沿所述滑轨长度方向呈等间距分布，所述螺栓与所述螺纹孔螺纹连接将所述移动架固定于所述滑轨内，所述移动架中部两侧固定连接有滑动块，所述柜体对应所述滑动块位置开设有凹槽，所述滑动块嵌于所述凹槽内与所述凹槽滑动连接。

采用上述技术方案，通过设置移动架，并且移动架可以在柜体内进行移动，从而使得移动架上的零件都能随着移动架移动至柜体的中部或者侧边，从而可以方便对柜体内的零件进行检测维修。

作为优选，还包括固定板、指示灯、操作按钮、控制箱，所述固定板呈竖直设置，所述固定板位于所述移动架中部且与所述移动架固定连接，所述控制箱位于所述固定板一侧且与所述固定板固定连接，所述指示灯与所述操作按钮位于所述固定板远离控制箱一侧且与所述固定板固定连接。

采用上述技术方案，通过在移动架上固定固定板，将移动架分为两部分，前部固定指示灯和操作按钮，使得可以从前部观察和对电控柜进行操作，后边固定控制箱，从而可以在电控柜出现故障时从后部对控制箱进行维修，使得移动架前后分工明确，提高进行各个操作时的效率。

作为优选，还包括支撑板，所述支撑板呈水平设置，所述支撑板位于所述固定板靠近所述控制箱一侧底部且与所述固定板固定连接，所述控制箱位于所述支撑板上部且与所述支撑板固定连接。

采用上述技术方案，通过在固定板的底部设置支撑板，且支撑板与固定板固定连接，从而使得控制箱既能与固定板固定连接，又能与支撑板固定连接，使得控制箱固定稳固，避免控制箱发生晃动而使得控制箱内部零件发生损坏。

作为优选，所述柜体靠近所述指示灯一侧设置有前拉门，所述柜体靠近所述控制箱一侧设置有后拉门，所述前拉门与所述后拉门均与所述柜体铰接。