[实用新型]一种硅片静电消除仪有效
| 申请号： | 201922411099.5 | 申请日： | 2019-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN211720802U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 杨浩;陶龙忠;杨灼坚;沙泉;段波;唐福云;李宁;周天贤;王枫;李永伟;马海青;孙红彬 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 静电 消除 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片静电消除仪，其特征在于：包括承载主体和若干放电嘴，所述承载主体呈条状结构，所述承载主体上表面活动的设置有固定板，所述放电嘴活动的设置在承载主体下表面，且规则的排成两列，所述承载主体的下表面还安装有自平衡传感器，且位于每个所述放电嘴两侧。
2.根据权利要求1所述的硅片静电消除仪，其特征在于，所述固定板通过滑道安装到所述承载主体上表面，可在所述承载主体上表面移动位置。
3.根据权利要求1所述的硅片静电消除仪，其特征在于，所述承载主体长度方向两端设置有安装孔。
4.根据权利要求1所述的硅片静电消除仪，其特征在于，所述承载主体采用航空铝合金材质，且表面抛光。
5.根据权利要求1所述的硅片静电消除仪，其特征在于，所述放电嘴采用铜合金材质。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏润阳悦达光伏科技有限公司，未经江苏润阳悦达光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922411099.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种纺织用具有防碰撞结构的叉车
- 下一篇：一种施工升降机基础结构
