[实用新型]一种碳化硅烧结炉的抽真空装置

权利要求书

1.一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，包括底座（1）和炉体（2），其特征在于：所述底座（1）的顶部和炉体（2）的底部通过多个固定杆（23）固定连接，所述炉体（2）的顶部设有密封盖（3），所述密封盖（3）的一侧与炉体（2）通过转轴（4）转动连接，所述密封盖（3）远离转轴（4）的一侧固定连接有L型支撑块（5），所述L型支撑块（5）上设有插口，所述插口内滑动插设有锁紧杆（6），所述炉体（2）的外壁上固定连接有与锁紧杆（6）对应的锁紧块（7），所述锁紧块（7）上设有与锁紧杆（6）对应的卡槽，所述锁紧杆（6）靠近锁紧块（7）的一端固定套接有卡套（8），所述锁紧杆（6）上套设第一弹簧（9），所述第一弹簧（9）的两端分别与卡套（8）和L型支撑块（5）固定连接，所述锁紧杆（6）远离卡套（8）的一端固定连接有把手（10），所述炉体（2）靠近L型支撑块（5）一侧的底部固定连通有抽气管（11），所述抽气管（11）上设有抽气泵（12）。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，其特征在于：所述炉体（2）与密封盖（3）的内壁上固定粘接有隔热层（13）。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，其特征在于：所述炉体（2）的顶部靠近L型支撑块（5）的一端设有装置槽，所述装置槽内通过阻尼减震器（14）固定连接有挤压板（15），所述密封盖（3）的底部固定连接有缓冲块（16），所述挤压板（15）远离阻尼减震器（14）的一侧与缓冲块（16）相抵。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，其特征在于：所述底座（1）的底部固定连接有多个橡胶块（17）。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，其特征在于：所述抽气管（11）管口处设有支撑杆（18），所述抽气管（11）的管口处设有与支撑杆（18）对应的滑槽，所述滑槽内固定连接有滑杆（19），所述滑杆（19）上设有与支撑杆（18）对应的滑口，所述滑杆（19）上套设有第二弹簧（20），所述第二弹簧（20）的两端分别与支撑杆（18）和滑槽的内壁固定连接，所述支撑杆（18）的底部固定连接有连接杆（21），所述连接杆（21）远离支撑杆（18）的一端固定连接有防逆板（22）。