[实用新型]一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置

说明书

本实用新型提供了一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置，其包括底座，其还包括置于所述底座上的放卷装置、第一曝光系统、第二曝光系统、收卷装置，所述柔性印刷电路板自所述放卷装置，依次通过所述第一曝光系统和所述第二曝光系统，从所述收卷装置收起，所述第一曝光系统和所述第二曝光系统均包括吸附台面，对应所述吸附台面的对位装置和曝光装置，所述第一曝光系统和第二曝光系统顺序排列，方向相对。所述光刻装置不需要复杂的折返结构即完成了柔性印刷电路板的双面曝光。

技术领域

本发明涉及一种光刻装置，特别是一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置。

背景技术

柔性印刷电路板是用柔性的绝缘基材制成的印刷电路，其可以弯曲、卷绕、折叠，应用于电子电路中，可以缩小电子产品的体积和重量，相较于硬性电路板，更适用于高密度、小型化的电子产品。

现有的针对柔性印刷电路板的光刻机，通常先对所述柔性印刷电路板进行单面的曝光操作，然后将所述柔性印刷电路板取下，再通过光刻机对其另一面进行曝光操作，这样的操作增加了上面曝光柔性印刷电路板的时间。

另一种光刻机，其包括第一曝光单元和第二曝光单元，分别对所述柔性印刷电路板两面进行曝光操作，虽然其不需将所述柔性印刷电路板取下，重新安装，但是，在所述第一曝光单元和所述第二曝光单元之间设有复杂的折返单元，使得所述柔性印刷电路板未被所述第一曝光单元曝光的一侧在所述第二曝光单元进行曝光。所述复杂的折返机构降低了所述光刻机的曝光效率，同时增加了光刻机的成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种能够同时对所述柔性印刷电路板两面进行曝光，并且曝光效率高，低成本的光刻装置。

为了解决上述问题，本发明提供了一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置，其包括底座，其还包括置于所述底座上的放卷装置、第一曝光系统、第二曝光系统、收卷装置，所述柔性印刷电路板自所述放卷装置，依次通过所述第一曝光系统和所述第二曝光系统，从所述收卷装置收起，所述第一曝光系统和所述第二曝光系统均包括吸附台面，对应所述吸附台面的对位装置和曝光装置，所述第一曝光系统和第二曝光系统顺序排列，方向相对。

进一步的，所述吸附台面垂直设置于所述底座。

进一步的，所述吸附台面临近所述放卷装置或者收卷装置的一侧及其相对侧设有支撑辊。

进一步的，所述吸附台面上对应所述支撑辊设置夹持辊构成夹持机构，所述夹持辊和所述支撑辊之间形成所述柔性印刷电路板通过的通道。

进一步的，所述收卷装置和所述放卷装置均可顺时针旋转和逆时针旋转，在两个方向移动所述柔性印刷电路板。

进一步的，所述收卷装置和所述放卷装置旋转方向相同，所述收卷装置进行卷入操作，所述放卷装置进行卷出操作，所述收卷装置进行卷出操作，所述放卷装置进行卷入操作。

进一步的，所述放卷装置跟随所述第一曝光系统的吸附台面移动。

进一步的，所述收卷装置跟随所述第二曝光系统的吸附台面移动。

进一步的，所述第一曝光系统和所述第二曝光系统的吸附台面同步移动。

进一步的，所述第一曝光系统和所述曝光系统对所述柔性印刷电路板单次曝光区域覆盖所述柔性印刷电路板的全部曝光区域。

与现有技术相比，所述光刻装置不需要复杂的折返结构即完成了柔性印刷电路板的双面曝光。

附图说明

图1是光刻装置第一实施例的示意图。

图2是光刻装置第二实施例的示意图。

图3是光刻装置第三实施例的示意图。

具体实施方式