[实用新型]一种退火炉的冷却装置

说明书

本实用新型提供一种退火炉的冷却装置，涉及一种机械加工技术领域。该实用新型包括。本实用新型通过设置有两组相对设置的冷风机和抽风机，使得机体内部的高温气体可以通过抽风机快速被抽离出机体内部，同时再通过另一端的冷风机为机体内部注入冷空气，从而达到快速降温的目的。

技术领域

本实用新型涉及一种机械加工技术领域，特别是涉及一种退火炉的冷却装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。一般用于退火炉的冷却装置结构比较简单，只是将外界的冷空气注入到退火炉的内部，以此来降低退火炉内部的温度，但是此种方法冷却效果较差，达不到冷却的效果。

实用新型内容

针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种退火炉的冷却装置，使其通过设置有两组相对设置的冷风机和抽风机，使得机体内部的高温气体可以通过抽风机快速被抽离出机体内部，同时再通过另一端的冷风机为机体内部注入冷空气，从而达到快速降温的目的。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种退火炉的冷却装置，包括底座和设置在所述底座上端的机体，所述机体内设置有退火炉，其中，还包括冷却装置，所述冷却装置包括设置在所述机体左端的第一箱体和设置在所述机体右端的第二箱体，所述第一箱体内设置有冷风机结构，所述冷风机通过管路与所述机体内部连通，所述第二箱体内设置有抽风机，所述抽风机通过管路与所述机体内部连通。

优选的，所述冷风机结构包括并列设置的第一冷风机和第二冷风机，所述机体的左端设置有第一出风口和第二出风口，所述第一冷风机通过管路与所述第一出风口连通，所述第二冷风机通过管路与所述第二出风口连通。

优选的，所述抽风机结构包括并列设置的第一抽风机和第二抽风机，所述机体右端设置有第一进风口和第二进风口，所述第一抽风机通过管路与所述第一进风口连通，所述第二抽风机通过管路与所述第二进风口连通。

优选的，所述机体包括内壳体和外壳体，所述内壳体和所述外壳体之间设置有循环水管路，所述机体的上端设置有进水管和出水管，所述循环水管路分别与所述进水管和所述出水管连通。

优选的，所述机体的后端设置有水箱，所述水箱内设置有并列设置的第一制冷器和第二制冷器，所述水箱通过水泵分别与所述进水管和所述出水管连通。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、通过设置有两组相对设置的冷风机和抽风机，使得机体内部的高温气体可以通过抽风机快速被抽离出机体内部，同时再通过另一端的冷风机为机体内部注入冷空气，从而达到快速降温的目的。

2、在机体的壳体间隙内设置循环水管路，并且通过设置在外部的水箱进行供水，同时在水箱内设置制冷器，使得水箱的水温保持温度较低的程度，从而为机体进行降温。

附图说明

图1是本实用新型的实施例结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图与实例对本实用新型作进一步详细说明，但所举实例不作为对本实用新型的限定。