[实用新型]一种真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机，旨在解决镀膜过程中固定盘发生转动，工件无法稳定的放置固定盘上，容易从固定盘上掉落的问题。其技术方案要点是：一种真空镀膜机，包括箱体、真空抽气泵、电机、转轴、轴承、固定盘、脚架，轴承的侧壁上固定连接有若干连接块，连接块与固定盘相互平行，连接块朝向固定盘的一侧固定连接有伸缩杆，伸缩杆远离连接块的一端固定连接有固定座，固定座朝向固定盘的一侧固定连接限位装置，限位装置上开设有用于容纳工件的空间。本实用新型通过伸缩杆以及限位装置的配合工作，将工件限制在固定盘上，从而避免固定盘在转动的过程中，工件从固定盘上掉落。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，更具体地说，它涉及一种真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

公开号为CN209128531U的中国专利公开一种真空镀膜机，包括箱体、真空抽气泵、电机、转轴、轴承、固定盘、加热器、弧形蒸发槽、蒸发孔、脚架，箱体置于水平面上，真空抽气泵设于箱体上方中心位置，电机设于箱体外左右两侧，转轴横穿箱体与电机紧密连接，轴承中心位置紧密连接转轴另一端，若干固定盘等距离分散固定在轴承上，加热器设于箱体内部两侧，弧形蒸发槽设于加热器之间，且上方设有若干蒸发孔，脚架设于箱体底部两侧。该方案通过电机内部驱动带动转轴和轴承运转，让固定盘上的工件能够保证镀膜均匀，提高镀膜效果。

上述方案通过设置固定盘用来放置工件，然而由于镀膜的过程中固定盘会发生转动，工件无法稳定的放置固定盘上，容易从固定盘上掉落，因此需要提出一种新的方案来解决这个问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机，通过伸缩杆以及限位装置的配合工作，将工件限制在固定盘上，从而避免固定盘在转动的过程中，工件从固定盘上掉落。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种真空镀膜机，包括箱体、真空抽气泵、电机、转轴、轴承、固定盘、脚架，其特征在于：所述轴承的侧壁上固定连接有若干连接块，所述连接块与固定盘相互平行，所述连接块朝向固定盘的一侧固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离连接块的一端固定连接有固定座，所述固定座朝向固定盘的一侧固定连接限位装置，所述限位装置上开设有用于容纳工件的空间。

通过采用上述技术方案，将工件放置在固定盘上，之后使伸缩杆朝向靠近固定盘一侧移动，由于固定座与伸缩杆固定连接，因此固定座也随之朝向靠近固定盘一侧移动，并且固定座上固定连接有限位装置，因此限位装置也随之朝向靠近固定盘一侧移动，由于限位装置上开设有用于容纳工件的空间，因此当限位装置移动至与固定盘接触时，工件被限制在限位装置上的空间内，以此避免固定盘转动的过程中工件从固定盘上掉落。

本实用新型进一步设置为：所述限位装置包括限位块，所述限位块固定连接于固定座朝向固定盘一侧的表面，所述限位块远离固定座一侧的表面开设有容纳槽。

通过采用上述技术方案，利用伸缩杆带动固定座朝向靠近固定盘一侧移动后，限位块也随之朝向靠近固定盘一侧移动，由于限位块远离固定座一侧的表面开设有容纳槽，因此工件被限制在容纳槽之内，以此起到将工件限制在固定盘上的效果。

本实用新型进一步设置为：所述容纳槽的侧壁开设有若干第一引流槽，所述第一引流槽沿容纳槽长度方向设置。