[实用新型]飞行探测器用探头以及飞行探测器

说明书

本实用新型提供一种飞行探测器用探头以及飞行探测器。本实用新型涉及的飞行探测器用探头，具备：探头主体部；多个高频探针，用于测定具备接地导体和信号导体的被测定物的高频特性；以及A/D变换部，其将从所述高频探针输出的测定信号变换成数字信号，多个高频探针以各自不同的端子配置具备能够与接地导体接触的接地端子、以及能够与信号导体接触的信号端子，多个高频探针被保持成能够进行切换，多个高频探针与A/D变换部安装于探头主体部，以便在切换前后，电学上的长度及/或物理上的长度固定。由此，能够以更高精度且更高速地测定被测定物的高频特性。

技术领域

本实用新型涉及对印刷布线基板等被测定物的电学特性进行测定的飞行探测器，特别地，涉及飞行探测器所具备的探头的构造。

背景技术

以往，作为这种飞行探测器，例如已知专利文献1中记载的装置。专利文献1中记载了以下装置，其被构成为在利用A/D变换部将测定信号变换成数字信号之后，经由电缆将该数字信号传输给测定器主体。根据该装置，由于设为在电缆中传输数字信号，因而，即使在电缆发生了变形的情况下，也能够抑制信号的干扰等并抑制信号波形的劣化。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本实开平4-90967号公报

为了进一步高精度地测定被测定物的高频特性，使用具备能够与被测定物的信号导体接触的信号端子以及能够与被测定物的接地导体接触的接地端子的高频探针是有效的。

然而，被测定物的信号导体与接地导体的配置(例如，间隔)是各种各样的。因此，需要选择具备适合于被测定物的信号导体与接地导体的配置的端子配置的高频探针来使用。即，在以往的飞行探测器中，每当被测定物的信号导体与接地导体的配置不同时，都需要对探针进行更换。

因此，在以更高精度且更高速地测定被测定物的高频特性的观点下，以往的飞行探测器尚存在改善的余地。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，解决上述课题，提供一种以更高精度且更高速地测定被测定物的高频特性的飞行探测器用探头以及飞行探测器。

为了实现上述目的，本实用新型如下来构成。

本实用新型的一种方式的飞行探测器用探头，具备：

探头主体部；

多个高频探针，其用于测定具备接地导体和信号导体的被测定物的高频特性；以及

A/D变换部，其将从所述高频探针输出的测定信号变换成数字信号，

所述多个高频探针以各自不同的端子配置具备能够与所述接地导体接触的接地端子、以及能够与所述信号导体接触的信号端子，

所述多个高频探针被保持成能够进行切换，

所述多个高频探针与所述A/D变换部安装于所述探头主体部，以便在所述切换前后，电学上的长度及/或物理上的长度固定。

本实用新型的一种方式的飞行探测器，其特征在于，具备：

多个上述飞行探测器用探头；以及

第二信号处理部，被输入从多个所述飞行探测器用探头输出的数字信号。

根据本实用新型的飞行探测器用探头，能够以更高精度且更高速地测定被测定物的高频特性。

附图说明

图1是表示本实用新型的第一实施方式的飞行探测器(flying prober)的概略结构的俯视图。

图2是表示在图1的飞行探测器中使用的探头(head)的概略结构的立体图。