[实用新型]一种用于磁控溅射镀膜工艺的屏蔽罩以及安装结构有效
| 申请号： | 201922394037.8 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211170866U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 王鑫;曹明刚;孙青林;宋连义;安德吉;张磊;金作林;焦新宇 | 申请（专利权）人： | 沧州天瑞星光热技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 061000 河北省沧州*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磁控溅射 镀膜 工艺 屏蔽 以及 安装 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于磁控溅射镀膜工艺的屏蔽罩，其特征在于：包括设置在两端的安装法兰盘以及设置在两端的安装法兰盘之间的片体，所述片体沿环向均匀的布置有若干个，片体与其所围合成的圆形的径向呈夹角布置。
2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜工艺的屏蔽罩，其特征在于：所述片体的两端与安装法兰盘可拆卸的连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于磁控溅射镀膜工艺的屏蔽罩，其特征在于：所述片体与安装法兰盘通过螺钉固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于磁控溅射镀膜工艺的屏蔽罩，其特征在于：所述安装法兰盘上配合片体设置有第一插槽。
5.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜工艺的屏蔽罩，其特征在于：所述安装法兰盘上设置有安装孔。
6.一种包括如权利要求1-5任意一项所述的用于磁控溅射镀膜工艺的屏蔽罩的安装结构，其特征在于：包括转动主轴，转动主轴的两侧分别固定设置有左固定盘与右固定盘，两端的所述安装法兰盘分别通过螺钉安装在左固定盘与右固定盘的内侧。
7.根据权利要求6所述的一种安装结构，其特征在于：所述转动主轴在左固定盘与右固定盘之间固定设置有支撑盘，所述支撑盘上配合片体设置有第二插槽。
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