[实用新型]用于磁控直拉单晶的四角型线圈分布超导磁体

权利要求书

1.用于磁控直拉单晶的四角型线圈分布超导磁体，用于300mm磁控直拉单晶制备，包括从内到外依次设置的线圈承力架（2）、超导线圈（1）、低温恒温器（3）、电流引线（5）、服务组件（7）、GM制冷机（6）、外部铁轭（4）；其特征在于，所述超导线圈数量为4个，4个超导线圈（1）按60°呈四角型对称分布在线圈承力架（2）上，超导线圈（1）之间依次串联，超导线圈外部设有外部铁轭（4）；

所述线圈承力架（2）为六边形结构，超导线圈（1）固定于线圈承力架（2）上，线圈承力架与外部铁轭（4）之间设置顶杆；

所述低温恒温器采用外部设有4台GM制冷机；而且低温恒温器内部设有液氮预冷通道。

2.根据权利要求1所述的用于磁控直拉单晶的四角型线圈分布超导磁体，其特征在于，所述的4个超导线圈，其分布为：中平面位于同一平面，即XZ平面，关于XY平面和YZ平面对称，超导线圈轴线夹角在X轴方向夹角为60度。

3.根据权利要求1所述的用于磁控直拉单晶的四角型线圈分布超导磁体，其特征在于，所述的超导线圈采用NbTi低温超导线干式绕制，超导线圈外部浸渍有环氧树脂，提高线圈性能。

4.根据权利要求1所述的用于磁控直拉单晶的四角型线圈分布超导磁体，其特征在于，超导线圈失超电路采用分段自保护的方式，并联二极管与线圈形成闭合回路。

5.根据权利要求1所述的用于磁控直拉单晶的四角型线圈分布超导磁体，其特征在于，所述超导磁体设置在单晶炉外侧，用超导电源将磁体励磁至设定磁场，为直拉单晶提供所需背景磁场。

6.根据权利要求1所述的用于磁控直拉单晶的四角型线圈分布超导磁体，其特征在于，所述的服务组件包括对超导线圈温度、电压的数据监测的温度、电压传感器以及对超导线圈液氮预冷通道，温度、电压传感器分布在超导线圈内部，由信号线从低温恒温器内部引出，从外接航空插头采集信号；液氮预冷通道在低温恒温器内部，在超导线圈的表面分布，低温恒温器外部留有输液接口与内部预冷通道连通。