[实用新型]柔性气体传感设备

权利要求书

1.一种柔性气体传感设备，其特征在于包括柔性敏感测试单元以及柔性封装单元，所述柔性封装单元包括具有透明窗口的柔性盖板，所述柔性盖板与所述柔性敏感测试单元密封结合形成一封装腔室，所述封装腔室与设置在所述柔性盖板上的至少一个气孔连通；

所述柔性敏感测试单元包括依次叠层设置在柔性衬底上的绝热层、加热层、导热绝缘层以及气体敏感结构，所述气体敏感结构还与设置在所述导热绝缘层上的测试电极电连接；其中，至少所述气体敏感结构被设置在所述封装腔室中。

2.根据权利要求1所述的柔性气体传感设备，其特征在于：所述加热层包括间隔设置的复数个加热电极，所述复数个加热电极之间电连接，所述加热层的厚度为10-1000μm。

3.根据权利要求1所述的柔性气体传感设备，其特征在于：所述导热绝缘层的厚度为10-1000μm。

4.根据权利要求1所述的柔性气体传感设备，其特征在于：所述气体敏感结构的厚度为10-1000μm。

5.根据权利要求4所述的柔性气体传感设备，其特征在于包括两个以上的测试电极，所述气体敏感结构设置在所述两个以上测试电极之间，所述两个以上的测试电极之间电连接，所述测试电极的厚度为10-1000μm。

6.根据权利要求1所述的柔性气体传感设备，其特征在于：所述气孔的直径为10-500μm。

7.根据权利要求1所述的柔性气体传感设备，其特征在于：所述柔性衬底的厚度为10-1000μm。

8.根据权利要求1所述的柔性气体传感设备，其特征在于：所述绝热层的厚度100-5000nm。

9.根据权利要求1所述的柔性气体传感设备，其特征在于：所述导热绝缘层上还设置有接线焊盘，所述接线焊盘分别与所述加热层、测试电极电连接。

10.根据权利要求1所述的柔性气体传感设备，其特征在于：所述气体敏感结构具有由多根多孔导电纤维交织形成的三维多孔结构。