[实用新型]一种单晶炉辅助加热装置

说明书

本实用新型涉及单晶炉技术领域，且公开了一种单晶炉辅助加热装置，包括外壳，所述外壳的左侧固定安装有左接线端，所述外壳的右侧固定安装有右接线端，所述左接线端和右接线端的内部均固定连接有铜电缆，所述左接线端和右接线端的内侧均固定连接有导杆，两个所述导杆的内侧均固定连接有接触片。该单晶炉辅助加热装置，通过在原有IGBT直流配电柜通过水冷电缆、铜电极导电使石墨加热器A受热化料，变更为增加一组辅助IGBT直流配电柜通过铜电缆导电使加热器B受热，这样会使石英坩埚受热更为均衡，化料时石英坩埚周围及底部温差可控，温度梯度更平稳，避免因受热不均导致坩埚内部原料漂浮引起的碰撞。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种单晶炉辅助加热装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响，其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。

单晶炉在实际运行中，因装料操作不当、化料功率控制不及时、原料配比不合理等，极易造成漏硅、渗硅和成晶不良等事故，故而提出一种单晶炉辅助加热装置来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种单晶炉辅助加热装置，具备均匀加热，热量可控的优点，解决了单晶炉在实际运行中，因装料操作不当、化料功率控制不及时、原料配比不合理等，极易造成漏硅、渗硅和成晶不良的问题。

(二)技术方案

为实现上述均匀加热，热量可控的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉辅助加热装置，包括外壳，所述外壳的左侧固定安装有左接线端，所述外壳的右侧固定安装有右接线端，所述左接线端和右接线端的内部均固定连接有铜电缆，所述左接线端和右接线端的内侧均固定连接有导杆，两个所述导杆的内侧均固定连接有接触片，右端所述导杆的外部固定连接有右导电环，左端所述导杆的外部固定连接有左导电环，所述外壳的背面固定连接有保护外壳，所述外壳的背面固定安装有位于保护外壳内部的驱动马达，所述驱动马达驱动轴的外部固定连接有活动杆，所述活动杆的外部套接有绝缘环，所述绝缘环的外部套接有套环，所述套环的外部固定连接有接触杆，所述活动杆的外部固定连接有位于外壳外部的转柄，所述外壳的正面固定连接有外盖，所述外盖的正面螺纹连接有固定螺丝，所述外盖正面的顶端固定安装有控制器，所述外盖正面的底端固定安装有显示模块。

优选的，所述外壳的正面开设有开口，外壳的正面等距离开设有四个螺纹孔，外壳的左右两侧均开设有圆形通孔。

优选的，两个所述接触片均呈弧状，两个接触片之间存在间隙，且两个接触片的内侧均和接触杆的外部接触。

优选的，所述保护外壳呈盒状，所述套环和接触杆为一个整体。

优选的，所述转柄包括绝缘环和两个拨块，两个拨块固定连接在绝缘环的外部。

优选的，所述固定螺丝的一端贯穿外盖并延伸至外壳正面开设的螺纹孔内部，所述保护外壳的外部等距离开设有散热口。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种单晶炉辅助加热装置，具备以下有益效果：