[实用新型]一种退火炉

权利要求书

1.一种退火炉，包括炉体（1），其特征是：所述炉体（1）的内部安装有石英管（2），所述炉体（1）的内壁和所述石英管（2）的外壁之间形成加热腔（3），所述炉体（1）的前、后两端分别设有前端盖（4）和后端盖（5），所述石英管（2）的内壁与所述前端盖（4）和后端盖（5）之间形成反应腔（6），所述反应腔（6）内部安装有降温装置（7），所述降温装置（7）包括进气管（7.1）、送气管（7.2）、喷气柱（7.3）、连接管（7.4）和抽气管（7.5），所述送气管（7.2）设有两根，分别位于所述反应腔（6）的上、下方，所述进气管（7.1）的前端连接有所述送气管（7.2）和所述连接管（7.4），所述送气管（7.2）和所述连接管（7.4）相互垂直设置，所述送气管（7.2）的前端延伸至所述前端盖（4）附近，所述送气管（7.2）的前部安装有两个所述喷气柱（7.3），所述喷气柱（7.3）由柱体（7.31）和吹嘴（7.32）构成，所述柱体（7.31）为圆柱形，且位于所述喷气柱（7.3）的中心，所述柱体（7.31）的顶部和表面安装有若干个所述吹嘴（7.32），所述吹嘴（7.32）为圆锥状，所述喷气柱（7.3）与所述送气管（7.2）之间通过螺栓相互连接，所述连接管（7.4）为一根盘旋向上的管道，所述连接管（7.4）将两根所述送气管（7.2）相连接，所述抽气管（7.5）安装在所述后端盖（5）上，所述抽气管（7.5）的前端与所述反应腔（6）相连通。

2.根据权利要求 1 所述的一种退火炉，其特征是：所述连接管（7.4）竖直设置，所述连接管（7.4）连接在所述两根送气管（7.2）之间。

3.根据权利要求 1 所述的一种退火炉，其特征是：所述送气管（7.2）水平设置。

4.根据权利要求 1 所述的一种退火炉，其特征是：所述进气管（7.1）的后端连接在所述后端盖（5）上。

5.根据权利要求 1 所述的一种退火炉，其特征是：所述抽气管（7.5）的后端安装有抽气机（8）。

6.根据权利要求 1 所述的一种退火炉，其特征是：所述进气管（7.1）、送气管（7.2）和连接管（7.4）之间通过管道连接件相互连通。