[实用新型]一种电注入装置

权利要求书

1.一种电注入装置，包括壳体(1)和电注入部，所述壳体(1)内具有工艺腔(10)，所述电注入部能向容置于所述工艺腔(10)内的硅片通电，其特征在于，所述电注入装置还包括：

辅助加热结构(2)，设置于所述工艺腔(10)内，所述辅助加热结构(2)与备用电源电性连接，以在通电时加热所述硅片；及

测温组件(3)，设置于所述工艺腔(10)内，所述测温组件(3)用于测量所述硅片的温度，并与所述备用电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的电注入装置，其特征在于，所述辅助加热结构(2)包括红外加热灯管。

3.根据权利要求2所述的电注入装置，其特征在于，所述红外加热灯管的延伸方向平行于所述硅片的传输方向，所述红外加热灯管的长度与所述硅片边长的差值为±5cm。

4.根据权利要求2所述的电注入装置，其特征在于，所述红外加热灯管的延伸方向垂直于所述硅片的传输方向，所述红外加热灯管的长度与所述硅片的叠层高度的差值为±5cm。

5.根据权利要求2所述的电注入装置，其特征在于，所述红外加热灯管的数量为两个以上，各个所述红外加热灯管平行设置。

6.根据权利要求1所述的电注入装置，其特征在于，所述电注入装置还包括控制器，所述控制器与所述电注入部、所述辅助加热结构(2)、所述测温组件(3)及所述备用电源电性连接。

7.根据权利要求1-6任一项所述的电注入装置，其特征在于，所述壳体(1)包括上下相对的顶壁(11)和底壁(12)，以及连接在所述顶壁(11)和所述底壁(12)的侧部且相对设置的两个侧壁(13)；

所述电注入装置还包括连接于所述顶壁(11)和所述底壁(12)的端部、用于封闭所述壳体(1)以形成所述工艺腔(10)的门体(4)；

所述辅助加热结构(2)设置于所述顶壁(11)、所述底壁(12)或所述侧壁(13)内侧。

8.根据权利要求7所述的电注入装置，其特征在于，所述辅助加热结构(2)对称地设置于两所述侧壁(13)内侧，且与容置于所述工艺腔(10)内的所述硅片的位置对应。

9.根据权利要求7所述的电注入装置，其特征在于，所述门体(4)与所述壳体(1)滑动连接或铰接。

10.根据权利要求1-6任一项所述的电注入装置，其特征在于，还包括传输机构，所述传输机构用于向所述工艺腔(10)内输送硅片。