[实用新型]一种应用于负离子源的喷铯装置有效

专利信息
申请号: 201922378479.3 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN211170853U 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 严仕琛 申请(专利权)人: 武汉市协诚创优科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/14
代理公司: 武汉兮悦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42246 代理人: 刘志强
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区财富一路*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 应用于 离子源 装置
【权利要求书】:

1.一种应用于负离子源的喷铯装置,包括真空泵(1)、控制面板(2)、入水口(3)、环型传导腔(8)和金属管阀(18),其特征在于:所述真空泵(1)的底端安装有环型传导腔(8),且环型传导腔(8)的顶端安装有金属管阀(18),并且金属管阀(18)下方的环型传导腔(8)表面套装有加热箱(5),所述加热箱(5)远离环型传导腔(8)的一侧安装有加热网(7),环型传导腔(8)的顶端安装有入水口(3),且入水口(3)下方的环型传导腔(8)底端安装有出水口(9),所述加热网(7)一侧的加热箱(5)外壁上安装有循环泵(6),且循环泵(6)的两端皆安装有输送管(4),并且输送管(4)的一端延伸至入水口(3)的内部,输送管(4)的另一端延伸至出水口(9)的内部,所述环型传导腔(8)外壁上远离循环泵(6)的一侧安装有支撑箱(16),且支撑箱(16)的内部设有挤压机构(17),并且支撑箱(16)内部靠近环型传导腔(8)的一侧安装有储铯管(15),储铯管(15)的一端延伸至环型传导腔(8)的内部,所述环型传导腔(8)的底端安装有CF法兰(14),且CF法兰(14)的底端安装有伸缩波纹管(13),并且伸缩波纹管(13)底端的中心位置处安装有喷铯嘴(12),所述喷铯嘴(12)下方的伸缩波纹管(13)底端设有负离子腔室(10),且负离子腔室(10)的内部设有喷铯机构(11),环型传导腔(8)顶端远离金属管阀(18)的一侧设有控制面板(2),且控制面板(2)内部单片机的输出端与循环泵(6)的输入端电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种应用于负离子源的喷铯装置,其特征在于:所述喷铯机构(11)的内部依次设置有栅极板(1101)、驱动箱(1102)、丝杠本体(1103)、丝杠套(1104)、转轴(1105)以及驱动电机(1106),所述负离子腔室(10)的底端安装有驱动箱(1102),且驱动箱(1102)的内部安装有驱动电机(1106),并且驱动电机(1106)的输出端通过联轴器安装有转轴(1105),所述转轴(1105)一侧的负离子腔室(10)内部设有丝杠本体(1103),且丝杠本体(1103)的一端与负离子腔室(10)内壁相铰接,并且丝杠本体(1103)的另一端与转轴(1105)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种应用于负离子源的喷铯装置,其特征在于:所述丝杠本体(1103)的表面套装有丝杠套(1104),且丝杠套(1104)的一端延伸至驱动箱(1102)的外部,并且丝杠套(1104)的顶端安装有栅极板(1101)。

4.根据权利要求1所述的一种应用于负离子源的喷铯装置,其特征在于:所述挤压机构(17)的内部依次设置有加热器(1701)、第一固定块(1702)、第一支架(1703)、第一压紧架(1704)、第二固定块(1705)、第二支架(1706)、第三固定块(1707)、弹性安瓿瓶(1708)、第三支架(1709)以及第二压紧架(1710),所述支撑箱(16)两端的内壁上皆安装有加热器(1701),且支撑箱(16)内部的中心位置处安装有弹性安瓿瓶(1708),并且弹性安瓿瓶(1708)上方的支撑箱(16)顶端固定有第一固定块(1702),所述第一固定块(1702)的一侧设有第二压紧架(1710),且第二压紧架(1710)的一端与第一固定块(1702)相铰接。

5.根据权利要求4所述的一种应用于负离子源的喷铯装置,其特征在于:所述第二压紧架(1710)的一侧设有第三支架(1709),且第三支架(1709)的一端与第二压紧架(1710)相铰接,并且第三支架(1709)的下方设有第二支架(1706),所述第二支架(1706)的一端延伸至支撑箱(16)的外部,且第三支架(1709)的底端与第二支架(1706)相铰接。

6.根据权利要求5所述的一种应用于负离子源的喷铯装置,其特征在于:所述第二支架(1706)的一侧设有第二固定块(1705),且第二固定块(1705)的一端与支撑箱(16)固定连接,并且第二支架(1706)与第二固定块(1705)相铰接,所述第二支架(1706)的上方设有第一压紧架(1704),且第一压紧架(1704)的一侧设有第三固定块(1707),并且第三固定块(1707)的一侧与支撑箱(16)固定连接,第一压紧架(1704)一端与第三固定块(1707)相铰接,所述第一压紧架(1704)远离第三固定块(1707)的一端设有第一支架(1703),且第一支架(1703)的顶端与第一压紧架(1704)相铰接,并且第一支架(1703)的底端与第二支架(1706)相铰接。

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