[实用新型]一种石墨舟烘箱

说明书

本实用新型提供了一种石墨舟烘箱，包括机座，机座上固定有箱体，箱体侧部具有取放口，箱体上铰接有能将取放口封闭住的箱门，箱体上部具有排湿口，箱体内固定有电加热管，箱体内还具有躲避槽，机座上还固定有支架，支架上设置有取放机构，取放机构包括轨道一、轨道二、滑座一、滑座二、气缸一、气缸二、活动架一、活动架二、取料臂和放料臂。本实用新型具有取放方便的优点。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种烘箱，特别是一种石墨舟烘箱。

背景技术

PECVD作为镀膜最常用的工艺之一，被广泛用于半导体、太阳能电池片的生产过程中。作为硅片的载体，石墨是最理想的材料之一，对表面镀膜的均匀性、色差等产生至关重要的作用，要求其有高纯度、耐腐蚀、极好的抗弯强度和良好的导电性能。石墨舟在长时间使用后，表面会变脏，需要先放入到清洗设备中进行清洗，再放入到烘箱中进行烘干。

经检索，如中国专利文献公开了一种石墨舟烘箱【申请号：201120232448.8；公开号：CN 202149674U】。这种石墨舟烘箱，具有箱体，所述箱体的正面设有箱门，其特征在于：所述箱体顶部的内壁上设有4～6组成对的红外灯管。

该专利中公开的石墨舟烘箱虽然可缩短烘干时间，但是，该石墨舟烘箱中没有取放结构，需要人工将石墨舟放入或者取出，因此，设计出一种石墨舟烘箱是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种石墨舟烘箱，该烘箱具有取放方便的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种石墨舟烘箱，包括机座，其特征在于，所述机座上固定有箱体，箱体侧部具有取放口，箱体上铰接有能将取放口封闭住的箱门，箱体上部具有排湿口，箱体内固定有电加热管，箱体内还具有躲避槽，机座上还固定有支架，支架上设置有取放机构，取放机构包括轨道一、轨道二、滑座一、滑座二、气缸一、气缸二、活动架一、活动架二、取料臂和放料臂，轨道一竖直固定在支架上部，滑座一设置在轨道一上，气缸一固定在支架上部，气缸一的活塞杆竖直向下，气缸一的活塞杆端部和滑座一相连，滑座一上固定有推杆电机一，推杆电机一的推杆竖直向上，活动架一固定在推杆电机一的推杆端部，活动架一上水平固定有导杆一，取料臂活动设置导杆一上，取料臂上具有若干用于定位石墨舟的定位槽一，取料臂上还具有把手一，轨道二竖直固定在支架下部，滑座二设置在轨道二上，气缸二固定在支架下部，气缸二的活塞杆竖直向上，气缸二的活塞杆端部和滑座二相连，滑座二上固定有推杆电机二，推杆电机二的推杆竖直向下，活动架二固定在推杆电机二的推杆端部，活动架二上水平固定有导杆二，放料臂活动设置在导杆二上，放料臂上具有若干用于定位石墨舟的定位槽二，放料臂上还具有把手二。

采用以上结构，通过将待烘干的石墨舟放在放料臂上，打开箱门，通过气缸一带动滑座一向下移动，滑座一带动取料臂向下移动，使取料臂位于取放口处，推动取料臂向箱体内移动，通过推杆电机一带动活动架一向上移动，活动架一带动取料臂向上移动，取料臂将烘干好的石墨舟与箱体脱离，并将其向上移动，使其冷却；通过气缸二带动滑座二向上移动，滑座二带动放料臂向上移动，使放料臂位于取放口处，推动放料臂向箱体内移动，通过推杆电机二带动活动架二向下移动，活动架二带动放料臂向下移动，放料臂将待烘干的石墨舟放入到箱体内，取放方便。

所述活动架一上还固定有若干冷却风机。

采用以上结构，通过冷却风机可加速取料臂上石墨舟的冷却。

所述活动架二上还固定有集水盒。

采用以上结构，通过集水盒可对放料臂上石墨舟掉落的水滴进行收集。

所述集水盒的材料为不锈钢。

所述把手一上还具有隔热套一，把手二上还具有隔热套二。

与现有技术相比，本石墨舟烘箱具有该优点：