[实用新型]一种智能等离子体清洗系统

权利要求书

1.一种智能等离子体清洗系统，其特征在于，包括控制器、脉冲电源、电极板、浮子流量计、工艺气体接口、腔体和真空泵；所述控制器的控制信号输出端与脉冲电源的输入端连接，所述脉冲电源的输出端与电极板连接；所述浮子流量计与工艺气体接口连接，且所述浮子流量计的数据输出端与控制器的数据输入端连接；所述工艺气体接口设置在腔体外部，在腔体外部设有腔门(7)，且在腔体外部还设置有CF电极法兰(2)、KF接口法兰(3)和活动铰链(6)；所述CF电极法兰(2)与电极板连接，所述KF接口法兰(3)设置在所述CF电极法兰(2)下方，所述活动铰链(6)设置在腔门顶角位置；所述真空泵与腔体连接，用于给腔体抽真空。

2.根据权利要求1所述的一种智能等离子体清洗系统，其特征在于，所述工艺气体接口包括VCR气管接头(1)。

3.根据权利要求1所述的一种智能等离子体清洗系统，其特征在于，所述电极板包括上电极板(4)和下电极板。

4.根据权利要求1所述的一种智能等离子体清洗系统，其特征在于，在腔体下方设有支撑架(5)，所述支撑架(5)与腔体连接。

5.根据权利要求4所述的一种智能等离子体清洗系统，其特征在于，在腔体外部设有腔门(7)。

6.根据权利要求5所述的一种智能等离子体清洗系统，其特征在于，在腔体外部设有真空玻璃观察窗(8)。