[实用新型]全像图图案转移装置

权利要求书

1.一种全像图图案转移装置，其特征在于，包括：

一工作载台，具有一第一致动构件；

一圆柱形金属滚轮，设置于所述工作载台上，所述第一致动构件用以转动所述圆柱形金属滚轮；

一光阻喷淋模块，用以将一光阻材料喷洒于所述圆柱形金属滚轮上，并于所述圆柱形金属滚轮上形成一光阻层；

一微影制作模块，用以将设置于所述圆柱形金属滚轮上的所述光阻层转换成一图案化光阻层；以及

一电化学加工蚀刻模块，用以将所述图案化光阻层的一图案转移至所述圆柱形金属滚轮上。

2.如权利要求1所述的全像图图案转移装置，其特征在于，所述圆柱形金属滚轮是由锡、铅、锌、铝、铜、黄铜、铁、镍、不锈钢、钴、钨、铬或其硬度大于铬的硬度的金属制成的圆柱形金属滚轮。

3.如权利要求1所述的全像图图案转移装置，其特征在于，所述光阻喷淋模块具有一个喷洒头。

4.如权利要求3所述的全像图图案转移装置，其特征在于，还包括一第二致动构件，用以在所述圆柱形金属滚轮的上方水平移动所述光阻喷淋模块。

5.如权利要求1所述的全像图图案转移装置，其特征在于，所述光阻喷淋模块具有多个喷洒头。

6.如权利要求5所述的全像图图案转移装置，其特征在于，所述多个喷洒头均匀设置于所述圆柱形金属滚轮的上方。

7.如权利要求1所述的全像图图案转移装置，其特征在于，所述微影制作模块包括一雷射曝光构件及一显影构件，以形成所述图案化光阻层。

8.如权利要求1所述的全像图图案转移装置，其特征在于，所述电化学加工蚀刻模块包括一电解槽，所述电解槽内装载一电解液，在所述圆柱形金属滚轮置入所述电解槽内的状态下，所述电化学加工蚀刻模块能进行一电解蚀刻步骤，以将所述图案化光阻层的所述图案转移至所述圆柱形金属滚轮上。

9.如权利要求8所述的全像图图案转移装置，其特征在于，所述电解槽为直立式电解槽。

10.如权利要求8所述的全像图图案转移装置，其特征在于，所述电解槽为横卧式电解槽。