[实用新型]一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟有效
| 申请号： | 201922355045.1 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211946285U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 邱锋;项金钟;吕文霞;申时立;黄涛;褚景豫;张婉;刘子睿;吕凤祺 | 申请（专利权）人： | 云南大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 阳佑虹 |
| 地址： | 650091 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 生长 石墨 悬挂 插片式 石英 | ||
1.一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟，用于放置在CVD系统石英管中使用，包括舟座和舟架，所述舟架设置于所述舟座上方，所述舟架包括上横架和/或下横架；其特征在于：所述上横架包括：至少一根平行于舟座长度方向的第一横杆，和/或一根垂直于舟座长度方向的第二横杆，以及用于支撑所述第一横杆和/或第二横杆的支撑杆；所述下横架包括：至少两根平行于舟座长度方向的第三横杆，和/或至少两根垂直于舟座长度方向的第四横杆；成对的所述第三横杆中的两根第三横杆均至少开设有一个插槽，两根第三横杆上的插槽相互对应；成对的所述第四横杆中的两根第四横杆均至少开设有一个插槽，两根第四横杆上的插槽相互对应；所述舟座为圆弧形舟座，且舟座下方设有第一石英棒、第二石英棒以及第三石英棒；所述第一石英棒设置在所述舟座截面底部；所述第二石英棒与第三石英棒分别设置在所述第一石英棒的两侧。
2.根据权利要求1所述的一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟，其特征在于：所述插槽宽度至少为1mm，深度至少为2mm。
3.根据权利要求1所述的一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟，其特征在于：所述第二石英棒与所述第三石英棒以舟座截面圆圆心为中心的夹角为60℃－120℃。
4.根据权利要求1、2、3、任一所述的一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟，其特征在于：所述石英舟舟座长度为10cm。
5.根据权利要求1、2、3、任一所述的一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟，其特征在于：所述舟座侧面设有拉环。
6.根据权利要求5所述的一种生长石墨烯悬挂与插片式石英舟，其特征在于：所述拉环为半圆形圆环。
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