[实用新型]一种靶材出荷形式改变结构有效
| 申请号： | 201922353785.1 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211474611U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 丁静仁;常艳超;中村晃;尤小磊;徐东起;董意男;程小明;王冬振;董常亮;高奇峰 | 申请（专利权）人： | 爱发科电子材料（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F16B11/00 | 分类号： | F16B11/00;B25B27/14 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 丰叶 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 靶材出荷 形式 改变 结构 | ||
1.一种靶材出荷形式改变结构，包括工作台(1)，所述工作台(1)一端固定连接有侧板(2)，所述侧板(2)远离工作台(1)的一端固定连接有顶板(3)，所述工作台(1)上固定设置有上料机构(4)和加热机构(5)，所述上料机构(4)通过液体金属合金能将靶材和背板粘合，其特征在于：所述加热机构(5)包括发热组件(51)和固定设置在工作台(1)上的固定柱(52)，所述固定柱(52)上设置有凹槽，所述发热组件(51)固定设置在凹槽内壁上，设置有所述发热组件(51)的凹槽尺寸大于背板尺寸，所述上料机构(4)能带动粘合后的靶材和背板与发热组件(51)接触。
2.根据权利要求1所述一种靶材出荷形式改变结构，其特征在于：所述上料机构(4)包括胶料池(41)、放置台(42)和升降气缸(43)，所述胶料池(41)和放置台(42)均固定设置在工作台(1)上且均位于固定柱(52)一侧，所述升降气缸(43)通过滑动组件(7)与顶板(3)滑动连接，所述升降气缸(43)的伸缩杆通过固定机构与靶材连接，所述升降气缸(43)能带动靶材依次与胶料池(41)内的液体金属合金、放置台(42)上的背板接触。
3.根据权利要求2所述一种靶材出荷形式改变结构，其特征在于：所述固定机构(6)包括固定板(61)和真空吸盘(62)，所述固定板(61)与伸缩杆固定连接，所述固定板(61)远离伸缩杆的一端面设置有真空吸盘(62)，所述真空吸盘(62)连接有真空泵，所述真空泵固定设置在固定板(61)侧方，所述真空泵由控制器控制。
4.根据权利要求2所述一种靶材出荷形式改变结构，其特征在于：所述滑动组件(7)包括滑轨(71)和滑块(72)，所述滑轨(71)固定设置在顶板(3)上，所述升降气缸(43)的机壳上固定设置有滑块(72)，所述滑块(72)带动升降气缸(43)在顶板(3)上滑动。
5.根据权利要求1所述一种靶材出荷形式改变结构,其特征在于：所述发热组件(51)为发热片或发热丝。
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